一种近红外完美吸收的表面等离激元超材料结构制造技术

本发明专利技术公开了一种近红外完美吸收的表面等离激元超材料结构，用以降低计算量和减少设计时间；其包括：上层金属层、上层介质层、中间层金属层、中间层介质层和下层金属，所述中间层介质层位于中间层金属层和下层金属之间，所述上层金属层和中间层金属层之间设置有上层介质层。所述上层金属层、上层介质层、中间层金属层和中间层介质层构成双重复合金属‑介质‑金属亚波长结构单元，所述双重复合金属‑介质‑金属亚波长结构单元周期为500nm。结合非均匀叠层和传输线等效结构方法，设计近红外波段具有完美吸收功能的表面等离激元超材料。

A surface plasmon super material structure with near infrared absorption

【技术实现步骤摘要】
一种近红外完美吸收的表面等离激元超材料结构
本专利技术涉及表面等离激元超材料
，尤其涉及一种近红外完美吸收的表面等离激元超材料结构。
技术介绍
随着微纳器件加工的不断发展，纳米工艺可以制备具有特殊表面等离激元特性的金属纳米结构，且已广泛应用于能源存储、表面增强传感和光伏太阳能等领域。采用纳米压印技术可以制备周期性叠层金属介质亚波长结构，该结构可以实现对电磁波的完美吸收。当电磁波进入金属纳米结构时存在一定损耗，而超材料完美吸收可以将全部的电磁波能量束缚在金属纳米结构中。在光学范围内，已经报道了许多表面等离激元超材料，如可重构表面等离激元超材料、低损耗表面等离激元超材料和双曲超材料。在目前的研究工作中，表面等离激元超材料通常是根据经典电磁波理论求解麦克斯韦方程来设计。得益于计算电磁学的巨大进步，表面等离激元超材料可以通过全波电磁仿真进行系统设计和优化。然而，全波模拟方法的使用往往需要较高的计算量和大量的时间，这严重限制了设计的灵活性和智能性，增加了设计周期。基于表面等离激元的等效结构理论是有效的优化方法，它对每个集总元件的功能进行简化本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种近红外完美吸收的表面等离激元超材料结构，其特征在于，用以降低计算量和减少设计时间；其包括：上层金属层(1)、上层介质层(2)、中间层金属层(3)、中间层介质层(4)和下层金属(5)，所述中间层介质层(4)位于中间层金属层(3)和下层金属(5)之间，所述上层金属层(1)和中间层金属层(3)之间设置有上层介质层(2)。/n

【技术特征摘要】
1.一种近红外完美吸收的表面等离激元超材料结构，其特征在于，用以降低计算量和减少设计时间；其包括：上层金属层(1)、上层介质层(2)、中间层金属层(3)、中间层介质层(4)和下层金属(5)，所述中间层介质层(4)位于中间层金属层(3)和下层金属(5)之间，所述上层金属层(1)和中间层金属层(3)之间设置有上层介质层(2)。


2.根据权利要求1一种近红外完美吸收的表面等离激元超材料结构，其特征在于，所述上层金属层(1)、上层介质层(2)、中间层金属层(3)和中间层介质层(4)构成双重复合金属-介质-金属亚波长结构单元，所述双重复合金属-介质-金属亚波长结构单元周期为500nm。


3.根据权利要求1和2任意一项一种近红外完美吸收的表面等离激元超材料结构，其特征在于，所述上层金属层(1)的材料为金，宽度为200nm，厚度为50nm。


4.根据权利要求1和2任意一项一种近红外完美吸收的表面等离激元超材料结构，其特征在于，所述上层介质层(2)的材料为氧化铝，宽度为200nm，厚度为14nm。


5.根据权利要求1和2任意一项一种近红外完美吸收的表面等离激元超材料结构，其特征在于，所述中间层金属层(3)的材料为金，宽度为200nm，厚度为100nm。

【专利技术属性】
技术研发人员：朱锦锋，李法君，申家情，张丽蓉，刘雪莹，谢奕浓，
申请(专利权)人：厦门大学，
类型：发明
国别省市：福建;35