【技术实现步骤摘要】
一种高灵敏度的振动传感器
本专利技术涉及到MEMS压电器件领域，特别是涉及一种高灵敏度的振动传感器。
技术介绍
振动广泛存在于自然界、工业界和人类生活中，不同振动传递着各种各样的信号，如空气振动，机器设备振动，水流流动和地质振动等。获取振动中携带的信息需要借助各类振动传感器，振动传感器广泛应用于能源、化工、医学、汽车、冶金、机器制造、军工、科研教学等诸多领域。如通过麦克风读取空气振动传递的声音信号；加速度计用于测量振动物体的加速度；超声探测器检测分析机械设备的振动信号，用以判断机械自身的劣化程度及预测其寿命；地质灾害预警器探测由地震波带来的地质振动来预警地震等灾害等。振动传感器包括电动式、磁电式、电容式、压阻式和压电式等，压电式的振动传感器环境适应性强，无需额外电源启动工作，适用于高低温，高冲击试验场合，具有动态范围大、频率范围宽、坚固耐用和受外界干扰小等特点。但是，现有压电式振动传感器结构对振动信号的响应有限，传感器的输出电信号较小，灵敏度低。
技术实现思路
本专利技术解决的技术问题是现有压电式...
【技术保护点】
1.一种高灵敏度的振动传感器，其特征在于，包括具有空腔的衬底和多个压电悬臂梁，空腔的底面中心设置有固定柱，多个悬臂梁围成信号接收区域，通过固定柱固定在衬底上方；所述压电悬臂梁包括固定端和自由端，所述自由端的宽度大于所述固定端，固定端固定在所述固定柱上，自由端悬置于空腔上方，且相邻的压电悬臂梁之间设置有间隙；该振动传感器还包括带有凹槽的封帽，所述封帽的槽沿与压电悬臂梁的自由端相连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种高灵敏度的振动传感器，其特征在于，包括具有空腔的衬底和多个压电悬臂梁，空腔的底面中心设置有固定柱，多个悬臂梁围成信号接收区域，通过固定柱固定在衬底上方；所述压电悬臂梁包括固定端和自由端，所述自由端的宽度大于所述固定端，固定端固定在所述固定柱上，自由端悬置于空腔上方，且相邻的压电悬臂梁之间设置有间隙；该振动传感器还包括带有凹槽的封帽，所述封帽的槽沿与压电悬臂梁的自由端相连接。
2.根据权利要求1所述的高灵敏度的振动传感器，其特征在于，所述凹槽的截面为多边形或弧形。
3.根据权利要求2所述的高灵敏度的振动传感器，其特征在于，所述凹槽的截面为梯形，凹槽的底面与凹槽的侧壁之间的夹角大于90°。
4.根据权利要求1所述的高灵敏度的振动传感器，其特征在于，所述多个压电悬臂梁的形状均为扇形、三角形或梯形，组成的信号接收区域为圆形或多边形。
5.根据权利要求1所述的高灵敏度的振动传感器，其特征在于，所述压电悬臂...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙成亮，胡博豪，吴志鹏，王磊，林炳辉，朱伟，占惠花，
申请(专利权)人：武汉大学，
类型：发明
国别省市：湖北;42
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