【技术实现步骤摘要】
一种三轴微振实时在线测量系统及方法
本专利技术涉及一种X、Y、Z三轴微振实时在线测量系统，可用于对半导体设备厂房素地微振测量及隔振平台的微振动进行三方向同步在线测量。
技术介绍
自20世纪90年代起，半导体、光电及通信等行业迅速发展，精密设备的需求快速上升。与此同时，随着精密设备加工与测量精度的不断提高，半导体芯片越做越小，半导体微结构的超精密加工除了要求恒温、恒湿和无尘洁净度的环境之外，若环境的振动不达标，振动将导致精密的生产设备和检测设备无法正常工作。精密加工过程中的环境振动成为影响加工和检测精度的一个重要因素，对于环境振动的检测开始成为精密加工技术研究的重要组成部分。在半导体微电子厂房设计中，从选址到生产设备安装平台的结构在设计方案过程中皆要考虑环境振动问题，半导体精密电子元器件的制造及生产环境，如果无法完善解决振动的问题，对于精密生产设备本身的正常运行及产品的良率会造成很大的影响，甚至导致投入巨大的半导体厂房无法量产芯片。因此环境的振动测量和分析成为半导体制造生产行业的必备条件。针对半导体微电子厂房的...
【技术保护点】
1.一种三轴微振实时在线测量系统，包括：测量部分(10)、采集处理部分(20)和显示操作部分(30)。测量部分(10)由三个加速度传感器和一个测量底座(14)组成；三个加速度传感器中的两个分别位于测量底座(14)突出部分的两侧，第三个位于测量底座(14)上表面；采集处理部分(20)包括三通道采集模块(21)、并行控制传输模块(22)、后面板(23)、微型计算机模块(24)；三通道采集模块(21)内部包含三个相互独立的通道，每个通道包括依次连接的模拟放大模块、继电器及隔离保护模块和模数转换模块，每个通道与一个加速度传感器相连；并行控制传输模块(22)包括三个控制模块、存储模块...
【技术特征摘要】
1.一种三轴微振实时在线测量系统，包括：测量部分(10)、采集处理部分(20)和显示操作部分(30)。测量部分(10)由三个加速度传感器和一个测量底座(14)组成；三个加速度传感器中的两个分别位于测量底座(14)突出部分的两侧，第三个位于测量底座(14)上表面；采集处理部分(20)包括三通道采集模块(21)、并行控制传输模块(22)、后面板(23)、微型计算机模块(24)；三通道采集模块(21)内部包含三个相互独立的通道，每个通道包括依次连接的模拟放大模块、继电器及隔离保护模块和模数转换模块，每个通道与一个加速度传感器相连；并行控制传输模块(22)包括三个控制模块、存储模块、处理器模块及同步传输模块，能够同时控制三通道采集模块中的三个独立通道进行数据采集转换，完成数据的初步锁存及同步传输；微型计算机模块(24)采用多线程并行技术，在接收并行控制传输模块(22)传输数据的同时，完成三通道数据的并行计算处理及存储；显示操作部分(30)包含系统控制面板(31)、系统状态面板(32)、振动数据显示(33)、参数设置面板(34)、振动时域显示面板(35)和振动频域显示面板(36)，在提供人机交互界面操作的同时，实时显示振动采集结果和微型计算机模块(24)的计算结果。
2.根据权利要求1所述的在线测量系统，其特征在于，所述测量底座(14)由无拼接一体化的不锈钢制成，并且外部包有防静电喷涂的不锈钢外壳，所述三个加速度传感器均通过不锈钢螺钉与测量底座(14)刚性连接。
3.根据权利要求1所述...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。