【技术实现步骤摘要】
一种太阳能晶柱的平整度垂直度检测设备
本技术涉及半导体检测设备
,尤其涉及一种太阳能晶柱的平整度垂直度检测设备。
技术介绍
太阳能晶柱(或称晶棒,硅棒)是制备太阳能晶硅电池片的基础原料,一般通过直拉法长晶,长晶出来的晶柱一般呈圆柱体状,将圆柱体状晶棒切头去尾后,再对圆柱体状的晶柱侧面进行切割,将其切割成长方体状晶柱,再将长方体状的晶柱通过线切割加工成长方形薄片,其中,将圆柱体状的晶柱加工成长方体晶柱后,需要对晶柱的切面进行平整度和垂直度的检测,目前还没有一种专门的设备能够对晶柱的切面进行平整度和垂直度的检测。
技术实现思路
本技术提供一种用于太阳能晶柱切面平整度及垂直度检测设备,能够检测出太阳能晶柱切面的平整度和垂直度。本技术提供的具体技术方案如下:一种太阳能晶柱的平整度垂直度检测设备,包括机架,机架上设置有多个滚筒,多个滚筒用于输送承载有待检测晶柱的载台,所述多个滚筒一端设置有晶柱检测站,所述晶柱检测站下方设置有一载台顶升机构,所述晶柱检测站处的滚筒之间留有载台顶升机构上下运动的避让空间,所述 ...
【技术保护点】
1.一种太阳能晶柱的平整度垂直度检测设备,其特征在于,包括机架,机架上设置有多个滚筒,多个滚筒用于输送承载有待检测晶柱的载台,所述多个滚筒一端设置有晶柱检测站,所述晶柱检测站下方设置有一载台顶升机构,所述晶柱检测站处的滚筒之间留有载台顶升机构上下运动的避让空间,所述载台顶升机构能够驱动载台作上下升降和旋转运动,晶柱检测站处的晶柱的左右两侧各设置有N个激光测距头,位于晶柱左侧的N个激光测距头通过左支架可上下滑动地设置于左升降机构,位于晶柱右侧的N个激光测距头通过右支架可上下滑动的设置于右升降机构,位于晶柱左侧的N个激光测距头与位于晶柱右侧的N个激光测距头一一正对设置且均可朝向 ...
【技术特征摘要】
1.一种太阳能晶柱的平整度垂直度检测设备,其特征在于,包括机架,机架上设置有多个滚筒,多个滚筒用于输送承载有待检测晶柱的载台,所述多个滚筒一端设置有晶柱检测站,所述晶柱检测站下方设置有一载台顶升机构,所述晶柱检测站处的滚筒之间留有载台顶升机构上下运动的避让空间,所述载台顶升机构能够驱动载台作上下升降和旋转运动,晶柱检测站处的晶柱的左右两侧各设置有N个激光测距头,位于晶柱左侧的N个激光测距头通过左支架可上下滑动地设置于左升降机构,位于晶柱右侧的N个激光测距头通过右支架可上下滑动的设置于右升降机构,位于晶柱左侧的N个激光测距头与位于晶柱右侧的N个激光测距头一一正对设置且均可朝向晶柱发出激光射线,正对设置的两个激光测距头发出的激光线位于同一直线上,所述晶柱检测站处的晶柱上方设置有晶柱高度激光测距仪,还包括一控制机构,所述控制机构与载台顶升机构、左升降机构、右升降机构和晶柱高度激光测距仪连接。
2.根据权利要求1所述的平整度垂直度检测设备,其特征在于,载台顶升机构包括固定至机架的底板,安装在底板上的升降气缸,所述升降气缸的活塞杆向上连接至电机安装板,所述电机安装板下端固定安装有导柱,所述底板上固定安装有与导柱相配的套筒,导柱在套筒内滑动,所述电机安装板上安装有载台旋转电机,所述载台旋转电机的输出...
【专利技术属性】
技术研发人员:林火旺,刘立清,廖文民,
申请(专利权)人:东莞市庆颖智能自动化科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。