【技术实现步骤摘要】
一种制备高纯度硫化氢气体的系统及方法
本专利技术涉及一种气体纯化系统及方法，尤其是一种工艺操作简单、成本低廉、可实现工业化生产的4N(99.99％)纯度硫化氢气体的制备方法。
技术介绍
目前硫化氢气体除了在国防化工、电放光、光导体中继续发挥重要作用外，近年来在半导体行业和光伏也是迅猛发展。目前生产和纯化硫化氢气体的方法有很多，中国专利号CN108392948A指出，对甲醇洗酸性气通过6级变压吸附，采用氧化铝、硅胶、沸石、活性炭等不同分子筛进行气相杂质的吸附得到99.5％硫化氢产品。中国专利申请号CN201511001246.1指出，使用甲醇洗酸性气为原料，经过浓缩、闪蒸、精馏可得到含量大于99％产品。中国专利申请号CN201320831012.X指出，使用甲醇洗酸性气经过闪蒸、再生、浓缩、精馏可得到含量大于99.5％产品。现在国内提纯硫化氢气体首先将酸气降温，通过精密过滤器后通入到精馏塔中进行精馏，得到含量大于99.5％的硫化氢产品。精馏主要利用各挥发性物质沸点的差异来分离，但由于丙烯沸点-4...
【技术保护点】
1.一种制备4N纯度硫化氢气体的系统，包括依次连接的：工业硫化氢钢瓶、缓冲罐、流量计、活性炭吸附器、硅胶吸附器、带冷源的收集钢瓶；/n所述活性炭吸附器为串联的2个活性炭吸附器；所述活性炭吸附器内含有酸化氧化处理后的果壳活性炭；/n所述硅胶吸附器为串联的2个硅胶吸附器。/n
【技术特征摘要】
1.一种制备4N纯度硫化氢气体的系统，包括依次连接的：工业硫化氢钢瓶、缓冲罐、流量计、活性炭吸附器、硅胶吸附器、带冷源的收集钢瓶；
所述活性炭吸附器为串联的2个活性炭吸附器；所述活性炭吸附器内含有酸化氧化处理后的果壳活性炭；
所述硅胶吸附器为串联的2个硅胶吸附器。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于：所述活性炭吸附器和硅胶吸附器外部有包含恒温水的管道。
3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于：所述酸化氧化处理为将DV-11型椰壳活性炭浸入质量分数为16％～20％稀硝酸2h，100～110℃下烘干。
4.一种制备4N纯度硫化氢气体气体的方法，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵毅，计燕秋，刘颖，冯凯，赵趫，王天源，
申请(专利权)人：大连科利德光电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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