气体过滤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术是关于一种气体过滤装置，包括：第一过滤件，所述第一过滤件内设有用于气体流通的第一通孔，所述第一通孔与待充气装置充气口连通；所述第一过滤件上设有与所述第一通孔连通的第二通孔；所述第一过滤件外壁套设有第二过滤件，所述第二过滤件上设有与所述第二通孔连通的第三通孔，所述第三通孔与外部气源连通；所述第三通孔、所述第二通孔和所述第一通孔相互连通后形成气体流通通道。本实用新型专利技术提供的气体过滤装置，不仅结构简单，安装维护方便，且因采用双层通孔，气体通孔效果更好。

Gas filter

【技术实现步骤摘要】
气体过滤装置
本技术涉及气体过滤领域，特别是涉及一种气体过滤装置。
技术介绍
现有技术中通孔气体普遍是通通孔芯与进气口，气体直接通通孔芯通孔，需要经常清洗或更换滤芯，杂质或污染物堵塞滤芯会造成通孔效率降低，经常清洗或更换滤芯会增加成本，安装维护操作使用麻烦等缺陷。特别是PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等离子体增强化学的气相沉积法)、LPCVD(LowPressureChemicalVaporDeposition，低压力化学气相沉积法)、MOCVD(MetalOrganicChemicalVaporDeposition，金属有机化学气相沉积法)、PVD(PhysicalVaporDeposition，物理气相沉积)或CVD(ChemicalVaporDeposition，化学气相淀积)，需要向上述设备中通入气体来生产太阳能电池，若因气体将滤芯上的杂质带入设备腔室中，杂质掉落在太阳能电池片的膜层上时，影响电池片发电效率。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体过滤装置，其特征在于，包括：/n第一过滤件，所述第一过滤件内设有用于气体流通的第一通孔，所述第一通孔与待充气装置充气口连通；/n所述第一过滤件上设有与所述第一通孔连通的第二通孔；/n所述第一过滤件外壁套设有第二过滤件，所述第二过滤件上设有与所述第二通孔连通的第三通孔，所述第三通孔与外部气源连通；/n所述第三通孔、所述第二通孔和所述第一通孔相互连通后形成气体流通通道。/n

【技术特征摘要】
1.一种气体过滤装置，其特征在于，包括：
第一过滤件，所述第一过滤件内设有用于气体流通的第一通孔，所述第一通孔与待充气装置充气口连通；
所述第一过滤件上设有与所述第一通孔连通的第二通孔；
所述第一过滤件外壁套设有第二过滤件，所述第二过滤件上设有与所述第二通孔连通的第三通孔，所述第三通孔与外部气源连通；
所述第三通孔、所述第二通孔和所述第一通孔相互连通后形成气体流通通道。


2.根据权利要求1中所述气体过滤装置，其特征在于，所述第一过滤件为聚酯纤维PP棉滤芯，所述聚酯纤维PP棉滤芯内沿轴线设有所述第一通孔；
所述聚酯纤维PP棉滤芯壁上设有至少两个以上所述第二通孔；
所述第二过滤件为第二金属网筒，所述第二金属网筒套设在所述聚酯纤维PP棉滤芯的外壁上，所述第二金属网筒与所述聚酯纤维PP棉滤芯的外壁尺寸配合，所述第二金属网筒上设有至少两个以上所述第三通孔；
所述气体过滤装置还包括第一盖板和第二盖板，所述第一盖板盖设在第二金属网筒的一端，所述第二盖板盖设在第二金属网筒的另一端；
所述第二盖板上设有与所述第一通孔连通的第四通孔，所述第四通孔与待充气装置充气口连通；
且所述第一盖板用于封堵所述第一通孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：林继柱，
申请(专利权)人：君泰创新北京科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11