一种多线切割机垫板制造技术

技术编号:24641505 阅读:59 留言:0更新日期:2020-06-24 16:19
本实用新型专利技术公开了一种多线切割机垫板,包括底座,底座上方设有基体板,基体板上线性排列有基准线,基准线将基体板分割成大量单位元,单位元上设有吸附孔,基准线内设置有吸油孔,底座上设有吸附槽,两组吸附槽中间设有吸油槽,底座一侧设有塑料管,本实用有效的解决了在切割过程中待切料粘贴能力不够,在切割过程中油污残留难以清洗。

A base plate of multi wire cutting machine

【技术实现步骤摘要】
一种多线切割机垫板
本技术涉及机械加工
,具体为一种多线切割机垫板。
技术介绍
多线切割是通过金属丝的快速往复运动,把磨料带入半导体加工区域进行研磨,将半导体等硬脆材料一次切割为数百片薄片的新型切割加工方法,逐渐取代传统的内圆切割,成为了硅片切割加工的主要方式。而垫板在这中间起到重要作用,现有的垫板仍然存在许多问题;一、待切料在切割前需要金刚线对垫板进行切割,在垫板上布满线痕后进行粘料,浪费时间;二、切割时会有油污落入切痕内,粘料时需要用布进行清理,非常不便,如果油污没有清理干净,粘料时会导致粘料不牢。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种多线切割机垫板,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种多线切割机垫板,包括底座,所述底座上方设有基体板,所述基体板上线性排列有基准线,所述基准线将基体板分割成大量单位元,所述单位元上设有吸附孔,所述基准线内设置有吸油孔,所述底座上设有吸附槽,两组所述吸附槽中间设有吸油槽,所述底座一侧设有塑料管。优选的,所述吸附槽和吸附孔的位置相同。优选的,所述吸油槽和吸油孔的位置相同。优选的,所述底座和基体板之间通过螺栓固定连接。优选的,所述底座和基体板材质为钢板,所述底座的吸附槽和吸油槽上涂有涂层。优选的,所述塑料管和吸尘器相连,所述吸油槽和吸附槽连通塑料管。优选的,所述单位元上放置切料,根据待切料的尺寸和加工尺寸更换基体板。与现有技术相比,本技术的有益效果是:一、本技术通过加入吸尘器对待切料进行吸附和对加工时产生的油污的吸附,传统的加工时会产生油污需要提前去除,不然会导致粘料不牢,吸尘器产生的吸力会将待切料牢牢的吸附在单位元上,避免粘黏不牢导致的加工误差,基准线中的吸油孔将加工过程中的油污吸附到吸油槽中,再经由塑料管排出;二、垫板分为底座和基体板,根据所需加工的尺寸不同更换不同的基体板,更加方便快捷。附图说明图1为底座和基体板结构示意图;图2为基体板俯视图;图3为垫板和待切料结构示意图。图中:1底座、2基体板、3吸附孔、4吸油孔、5吸附槽、6吸油槽、7塑料管、8待切料、9基准线、10单位元。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3,本技术提供一种技术方案:一种多线切割机垫板,包括底座1,底座1上方设有基体板2,基体板2上线性排列有基准线9,基准线9将基体板2分割成大量单位元10,单位元10上设有吸附孔3,基准线9内设置有吸油孔4,底座1上设有吸附槽5,两组吸附槽5中间设有吸油槽6,底座1一侧设有塑料管7,塑料管7一端连接吸尘器,吸尘器采用IV-3650。吸附槽5和吸附孔3的位置相同,使得待切料8放置在单位元10上时能被吸附孔3吸附。吸油槽6和吸油孔4的位置相同,吸油孔4将落入基准线9内的油污吸附进吸油槽6,再由塑料管7排出。底座1和基体板2之间通过螺栓固定连接,基体板2根据加工的待切料8尺寸进行随时更换安装。底座1和基体板2材质为钢板,底座1的吸附槽5和吸油槽6上涂有涂层,基体板2为钢材能承受金刚线的来回切割,涂有涂层使得油污不易于粘黏。塑料管7和吸尘器相连,吸油槽6和吸附槽5连通塑料管,吸尘器将吸油槽6中的油污吸附走,给吸附孔3提供吸附力,当待切料8放置在单位元10上时能进行吸附,避免因粘黏不牢导致的加工的误差。单位元10上放置待切料8,根据待切料8的尺寸和加工尺寸更换基体板2,更加方便快捷,节省加工时间。工作原理:根据所需切割尺寸更换合适尺寸的基体板2,将待切料8放置在单位元10上,启动吸尘器,吸尘器提供吸引力通过吸附孔3将待切料8牢牢吸附在基体板2的单位元10上,金刚线对待切料8开始对待切料8开始切割,在切割过程中产生的油污和部分细小的碎屑从基准线9中的吸油孔4吸附到吸油槽6中,再经过塑料管7排出,由于底座1不需要更换,所以吸油槽6和吸附槽5上都涂有涂层,油污不容易粘附便于清理。尽管已经示出和描述了本技术的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多线切割机垫板,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)上方设有基体板(2),所述基体板(2)上线性排列有基准线(9),所述基准线(9)将基体板(2)分割成大量单位元(10),所述单位元(10)上设有吸附孔(3),所述基准线(9)内设置有吸油孔(4),所述底座(1)上设有吸附槽(5),两组所述吸附槽(5)中间设有吸油槽(6),所述底座(1)一侧设有塑料管(7)。/n

【技术特征摘要】
1.一种多线切割机垫板,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)上方设有基体板(2),所述基体板(2)上线性排列有基准线(9),所述基准线(9)将基体板(2)分割成大量单位元(10),所述单位元(10)上设有吸附孔(3),所述基准线(9)内设置有吸油孔(4),所述底座(1)上设有吸附槽(5),两组所述吸附槽(5)中间设有吸油槽(6),所述底座(1)一侧设有塑料管(7)。


2.根据权利要求1所述的一种多线切割机垫板,其特征在于:所述吸附槽(5)和吸附孔(3)的位置相同。


3.根据权利要求1所述的一种多线切割机垫板,其特征在于:所述吸油槽(6)和吸油孔(4)的位置相同。<...

【专利技术属性】
技术研发人员:仲崇玉周丹丹
申请(专利权)人:南京菲隆科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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