【技术实现步骤摘要】
激光退火光路模组及退火装置
本技术属于激光退火
，更具体地说，是涉及一种激光退火光路模组及退火装置。
技术介绍
退火是一种材料热处理工艺，指的是将材料缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却。退火的目的是降低材料的硬度，改善切削加工性；降低残余应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向；细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷。随着集成电路的发展，对其损伤区、电学参数恢复程度以及注入离子电激活率的要求也越来越高。常规的热退火方法不能完全消除缺陷，对高剂量注入晶片的电激活率不够高，还会产生二次缺陷，并且在热退火过程中，整个晶片(包括注入层和衬底)都要经受一次高温处理，增加了表面污染，特别是高温长时间的热退火会导致明显的杂质再分布，破坏粒子注入技术固有的优点，限制了其在VLSI中的应用。激光退火主要是利用高能量密度的激光束辐照退火材料表面，从而引起被照区域的温度突然升高，达到退火效果；激光束的能量密度、材料的吸收系数、热传导系数、反射系数和注入层的厚度都会影响激光退火的效果。激光退火的退火区域受热时间非常短，因...
【技术保护点】
1.激光退火光路模组，其特征在于：包括底座、第一调整支架、第二调整支架、第一调整框架、第二调整框架、镜框、透镜和反射镜；/n所述透镜安装于所述镜框内，所述镜框竖向可调节地设于所述第一调整框架内；所述第一调整框架安装于所述第一调整支架上，所述第一调整框架能够可调节地绕第一轴和第二轴转动，所述第一轴与所述第二轴垂直，所述第一调整支架安装于所述底座上；/n所述反射镜安装于所述第二调整框架内，所述第二调整框架安装于所述第二调整支架上，所述第二调整框架能够可调节地绕第三轴和第四轴转动，所述第三轴和所述第四轴垂直，所述第二调整支架安装于所述底座上；/n所述透镜和所述反射镜用于将激光器发...
【技术特征摘要】
1.激光退火光路模组，其特征在于：包括底座、第一调整支架、第二调整支架、第一调整框架、第二调整框架、镜框、透镜和反射镜；
所述透镜安装于所述镜框内，所述镜框竖向可调节地设于所述第一调整框架内；所述第一调整框架安装于所述第一调整支架上，所述第一调整框架能够可调节地绕第一轴和第二轴转动，所述第一轴与所述第二轴垂直，所述第一调整支架安装于所述底座上；
所述反射镜安装于所述第二调整框架内，所述第二调整框架安装于所述第二调整支架上，所述第二调整框架能够可调节地绕第三轴和第四轴转动，所述第三轴和所述第四轴垂直，所述第二调整支架安装于所述底座上；
所述透镜和所述反射镜用于将激光器发射的激光导向待退火产品。
2.根据权利要求1所述的激光退火光路模组，其特征在于：所述第一调整支架上设有第一调节孔、第二调节孔、第一定位孔和多个第一连接孔，所有所述第一连接孔分布于所述第一轴和所述第二轴上，所述第一定位孔设于所述第一轴与所述第二轴的相交处；
所述第一调整框架上设有竖向延伸的调距孔和与所述第一连接孔对应的第二连接孔，所述第一调整支架和所述第一调整框架通过穿设于所述第一连接孔和所述第二连接孔内的第一固定螺丝连接，所述第一固定螺丝上套设有第一弹簧，所述第一弹簧用于带动所述第一调整支架靠近所述第一调整框架；
所述第一调节孔内穿设有用于抵接所述第一调整框架的第一调节顶丝，所述第二调节孔内穿设有用于抵接所述第一调整框架的第二调节顶丝，所述第一定位孔内穿设有用于抵接所述第一调整框架的第一定位顶丝，所述调距孔内穿设有用于抵接所述镜框的竖向调节顶丝。
3.根据权利要求2所述的激光退火光路模组，其特征在于：所述第一调整框架上设有与所述第一调节孔对应的第一盲孔、与所述第二调节孔对应的第二盲孔和与所述第一定位孔对应的第二定位孔；
所述第一调节顶丝伸入所述第一盲孔，所述第二调节顶丝伸入所述第二盲孔，所述第一定位顶丝伸入所述第二定位孔。
4.根据权利要求1所述的激光退火光路模组，其特征在于：所述第一调整支架包括第一支撑板和安装于所述底座上的第一支座，所述第一支撑板上设有第一安装孔，所述第一支撑板与所述第一支座通过穿设于所述第一安装孔和所述第一支座的第一紧固螺丝连接，处于拧松状态的所述第一紧固螺丝能够沿第一水平方向滑动；
所述第一调整框架安装于所述第一支撑板上。
5.根据权利要求4所述的激光退火光路模组，其特征在于：所述第一支座上设有第二安装孔，所述第一支座和所述底座通过穿设于所述第二安装孔和所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：张董洁，谢圣君，王昌焱，徐新峰，房用桥，王习文，潘明铮，孙玉芬，邢沐悦，吕启涛，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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