【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及通过利用制冷剂的节流膨胀来实现制冷效果的过程。
技术介绍
自从二十世纪初以来就有了制冷系统,当时开发了可靠的密闭制冷系统。从那时起,制冷技术的进步证实了其在住宅和工业装置中的实用性。特别地,目前低温制冷系统在生物医学应用领域、低温电子学领域、涂覆操作领域和半导体制造应用领域都发挥着重要的工业上的功能。有许多重要的应用,特别是工业制造和测试方面的应用,要求制冷温度在183K(-90℃)以下。本专利技术涉及提供的制冷温度在183K和65K(-90℃和-208℃)之间的制冷系统。包括在这个范围内的温度有不同的名称低温、超低温和深冷温度。为达到本申请的目的,术语“超低”或者“超低温”将用来指183K至65K(-90℃至-208℃)的温度范围。在许多真空状态下运行的与低温制冷系统成一体的制造工艺中,某些加工步骤需要快速加热。这种加热操作通常叫做除霜循环。该加热操作把蒸发器和制冷剂连接管加热至室温。这使得系统中的这些部件可接近并与大气相通而不会引起空气中的湿气凝结在这些部件。整个除霜循环和接下来的产生超低温的恢复过程时间越长,制造系统的生产量越低。在真空腔室 ...
【技术保护点】
一种包括防止发生冻结管路的制冷系统,其中防止发生冻结的管路包括旁通回路,该旁路回路按照下面三种方式的一种连接:(a)从制冷过程中热制冷剂进入制冷过程的部位连接至位于从制冷过程的低温部分的制冷剂的出口到系统中的温度最低的低压制冷剂的出 口之前的部位,其中热制冷剂的冻结温度不高于防止冻结现象发生的制冷过程的冷端的制冷剂的冻结温度;(b)从制冷系统中高压制冷剂处于其最低温度的部位连接至低压制冷剂流出制冷过程中的温度最低的换热器的部位;以及(c)从室温高压制冷剂 管连接至压缩机吸气管。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:K弗林,M拜奥尔斯基,O波德彻尔尼埃夫,
申请(专利权)人:布鲁克斯自动化公司,
类型:发明
国别省市:US[美国]
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