一种蒸镀机蒸镀材料的回收装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种蒸镀机蒸镀材料的回收装置，包括防着板，所述防着板用于设置在所述蒸镀机的腔体中，所述蒸镀机用于放置蒸镀源，所述防着板用于防止蒸镀源中的待蒸镀物粘附到蒸镀机的内壁，所述防着板靠近蒸镀源的侧壁上设置有磁化的磁性材料，所述磁性材料用于粘附镀到防着板上的待蒸镀物。上述技术方案具有如下优点，具有磁性材料的防着板对待蒸镀物具有较好的吸附力，使得没有沉积在正确位置的待蒸镀物可以粘附到防着板上，避免待蒸镀物镀到蒸镀机的内壁上，减少蒸镀机开腔保养的频率，提高待蒸镀物的回收率，便于待蒸镀物的重复利用。

A kind of recovery device for evaporation material of evaporation machine

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀机蒸镀材料的回收装置
本专利技术涉及蒸镀工艺
，尤其涉及一种蒸镀机蒸镀材料的回收装置。
技术介绍
OLED制程中最重要的是蒸镀，其对应的设备是蒸镀机。现有蒸镀机因需要定期开腔保养，此过程需一定时间打开腔门，会导致外界空气中的颗粒进入腔体内，因此会影响腔体内环境的洁净度，污染腔体环境。同时设备保养，将耗费大量的人力、物力、财力，该过程减慢生产进度，浪费资源。再者，因现有蒸镀机的待蒸镀物利用率低，大多防着板对待蒸镀物的吸附力不足，不断清洗防着板上的待蒸镀物，使防着板上的大多数待蒸镀物没得到充分利用，造成材料的浪费。
技术实现思路
为此，需要提供一种蒸镀机蒸镀材料的回收装置，解决防着板对待蒸镀物的吸附力不足的问题。为实现上述目的，专利技术人提供了一种蒸镀机蒸镀材料的回收装置，包括防着板，所述防着板用于设置在所述蒸镀机的腔体中，所述蒸镀机用于放置蒸镀源，所述防着板用于防止蒸镀源中的待蒸镀物粘附到蒸镀机的内壁，所述防着板靠近蒸镀源的侧壁上设置有磁化的磁性材料，所述磁性材料用于粘附镀到防着板上的待蒸镀物。进本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀机蒸镀材料的回收装置，包括防着板，所述防着板用于设置在所述蒸镀机的腔体中，所述蒸镀机用于放置蒸镀源，所述防着板用于防止蒸镀源中的待蒸镀物粘附到蒸镀机的内壁，其特征在于，所述防着板靠近蒸镀源的侧壁上设置有磁化的磁性材料，所述磁性材料用于粘附镀到防着板上的待蒸镀物。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀机蒸镀材料的回收装置，包括防着板，所述防着板用于设置在所述蒸镀机的腔体中，所述蒸镀机用于放置蒸镀源，所述防着板用于防止蒸镀源中的待蒸镀物粘附到蒸镀机的内壁，其特征在于，所述防着板靠近蒸镀源的侧壁上设置有磁化的磁性材料，所述磁性材料用于粘附镀到防着板上的待蒸镀物。


2.根据权利要求1所述的一种蒸镀机蒸镀材料的回收装置，其特征在于，还包括回收机构，所述回收机构设置在防着板下方，所述回收机构用于回收防着板上的待蒸镀物。


3.根据权利要求2所述的一种蒸镀机蒸镀材料的回收装置，其特征在于，所述回收机构包括回收槽和移动轨道，所述移动轨道设置在所述防着板下方，所述回收槽用于储存防着板上的待蒸镀物，并在移动轨道上移动。


4.根据权利要求3所述的一种蒸镀机蒸镀材料的回收装置，其特征在于，所述回收机构还包括设置在蒸镀机腔体外...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑沂，孙玉俊，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35