截去端部的扁平线圈制造技术

在其上表面和/或下表面上没有电绝缘材料的扁平线圈。没有绝缘材料有助于维持线圈温度以及提供其它益处。

Cut off the flat coil at the end

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】截去端部的扁平线圈相关申请的交叉引用本申请要求于2017年11月6日提交的美国临时专利申请62/581,835的优先权，该申请的全部内容通过引用并入本文。
本专利技术的实施例总体上涉及机电装置中的热控制和散热的领域，更具体地涉及致动器线圈的冷却。
技术介绍
电机线圈用于多种各样的应用，包括例如硬盘驱动器和光刻工具。通常，电机线圈包括致动器线圈，该致动器线圈包含电线的许多绕组和磁性装置。磁性装置可以包括一个或更多个永磁体。流过致动器线圈的电流产生电磁场，该电磁场与从磁性装置产生的磁场相互作用，从而在致动器线圈上施加力。该力导致致动器线圈移动。在替代例中，当在磁性装置和致动器线圈之间建立电磁场时，磁性装置能够移动，而致动器线圈保持静止。致动器线圈的移动能够通过调整流过致动器线圈的电流来控制，在这种状况下，致动器线圈上的力与电流成比例。为了增加力，电流也必须被增加。然而，随着电流增加，由于电能作为致动器线圈内的热能而耗散，致动器线圈的工作温度也增加。致动器线圈的电阻继而增加，并且流过致动器线圈的电流的幅值受到限制，由此不利地影本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有扁平线的实质上平坦的线圈，所述扁平线包括：/n导体，具有实质上矩形的横截面，且具有第一对侧边和第二对侧边，所述第一对侧边定向成实质上垂直于所述线圈的平面，所述第二对侧边定向成实质上平行于所述线圈的平面；和/n电绝缘材料，在所述第一对侧边的侧边中的至少一个上，/n所述第二对侧边的侧边中的至少一个没有任何电绝缘材料。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171106 US 62/581,8351.一种具有扁平线的实质上平坦的线圈，所述扁平线包括：
导体，具有实质上矩形的横截面，且具有第一对侧边和第二对侧边，所述第一对侧边定向成实质上垂直于所述线圈的平面，所述第二对侧边定向成实质上平行于所述线圈的平面；和
电绝缘材料，在所述第一对侧边的侧边中的至少一个上，
所述第二对侧边的侧边中的至少一个没有任何电绝缘材料。


2.根据权利要求1所述的实质上平坦的线圈，其中，所述线圈实质上为圆形。


3.根据权利要求1所述的实质上平坦的线圈，其中，所述线圈具有跑道形状。


4.根据权利要求1所述的实质上平坦的线圈，其中，在所述第一对侧边的两个侧边上有电绝缘材料。


5.根据权利要求1所述的实质上平坦的线圈，其中，在所述第二对侧边的两个侧边上没有电绝缘材料。


6.一种致动器，包括：
永磁体；和
具有扁平线的实质上平坦的线圈，所述扁平线包括：导体，具有实质上矩形的横截面，且具有第一对侧边和第二对侧边，所述第一对侧边定向成实质上垂直于所述线圈的平面，所述第二对侧边定向成实质上平行于所述线圈的平面；和在所述第一对侧边的侧边中的至少一个上的电绝缘材料，所述第二对侧边的侧边中的至少一个没有任何电绝缘材料，
所述永磁体和线圈布置成使得当充足幅值的电流流过所述线圈时在所述永磁体和线圈之间形成力。


7.一种在光刻设备中用于定位掩模版或晶片的平台，所述平台包括：
台；和
致动器，机械耦接至所述台，所述致动器包括永磁体和具有扁平线的实质上平坦的线圈，所述扁平线包括：导体，具有实质上矩形的横截面，且具有第一对侧边和第二对侧边，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·E·布朗，
申请(专利权)人：ASML控股股份有限公司，
类型：发明
国别省市：荷兰;NL