一种压电陶瓷驱动结构制造技术

技术编号:24593816 阅读:41 留言:0更新日期:2020-06-21 03:09
本实用新型专利技术提供了一种压电陶瓷驱动结构,包括安装座、压电陶瓷、弹性件和输出球,所述压电陶瓷和所述弹性件设在所述安装座上,所述输出球同时连接在所述压电陶瓷的移动端和所述弹性件的一端上,所述输出球用于运动平台接触,使压电陶瓷在传动的过程中不易受到切应力,使压电陶瓷极不易发生损坏。

A driving structure of piezoelectric ceramics

【技术实现步骤摘要】
一种压电陶瓷驱动结构
本技术属于微驱动
,更具体地说,是涉及一种压电陶瓷驱动结构。
技术介绍
纳米微定位技术是21世纪的科技技术趋势之一,常规的纳米微定位技术通常采用伺服电机和精密丝杠组成定位平台进行传动。由于精密丝杠的螺杆和螺母的螺纹配合的偏差以及螺杆和螺母在传动过程中存在摩擦,其精度最高只能达到微米级别且使用过程不稳定,满足不了高精度使用场合。随着生物行业以及微电子(半导体)行业的迅速发展,对定位平台提出了超越微米更高级别的定位精度要求。压电陶瓷具有体积小,产生推力大,可达纳米级别的分辨率,是实现高精度微位移的理想驱动。压电陶瓷在传动的过程中容易收到受到切应力,使压电陶瓷极其容易发生损坏。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种铰链式封装压电陶瓷,以解决现有技术中存在的压电陶瓷在传动的过程中容易收到受到切应力,使压电陶瓷极其容易发生损坏的技术问题。为实现上述目的,本技术采用的技术方案是:提供一种铰链式封装压电陶瓷,包括安装座、压电陶瓷、弹性件和输出球,所述压电陶瓷和所述弹性件设在所述安装座上,所述输出球本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电陶瓷驱动结构,其特征在于,包括安装座、压电陶瓷、弹性件和输出球,所述压电陶瓷和所述弹性件设在所述安装座上,所述输出球同时连接在所述压电陶瓷的移动端和所述弹性件的一端上,所述输出球用于与运动平台接触。/n

【技术特征摘要】
1.一种压电陶瓷驱动结构,其特征在于,包括安装座、压电陶瓷、弹性件和输出球,所述压电陶瓷和所述弹性件设在所述安装座上,所述输出球同时连接在所述压电陶瓷的移动端和所述弹性件的一端上,所述输出球用于与运动平台接触。


2.如权利要求1所述的一种压电陶瓷驱动结构,其特征在于,所述压电陶瓷的相对两侧均设有所述弹性件。


3.如权利要求2所述的一种压电陶瓷驱动结构,其特征在于,所述弹性件对称设置。


4.如权利要求3所述的一种压电陶瓷驱动结构,其特征在于,所述弹性件为异性弹簧件。


5.如权利要求2所述的一种压电陶瓷驱动结构,其特征在于,还包括连接杆,所述连接杆连接在所述弹性件之间,所述连接杆连接在所述移动端上。


6.如权利要求5所述的一种压电陶瓷驱动结构,其特征在于,还包括输出板,所述输出球固定在所...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘正锋王瑾曹锋罗奇路崧游佳明周成全高云峰
申请(专利权)人:大族激光科技产业集团股份有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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