【技术实现步骤摘要】
一种微焦点射线管
本技术涉及射线管
,具体领域为一种微焦点射线管。
技术介绍
目前公知的X射线焦点比较大,X射线成像分辨率较低,不能满足在很多领域(如医用,集成电路,科学研究)的使用。特别在航空、航天、军用类中,需对电子及微电子组装中的电子元器件内部结构微型焊点进行检测,由于被测物体具有高密度、高精度的特点,现有的X射线管已经无法满足正常需求。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种微焦点射线管,以解决现有技术中X射线焦点较大无法满足需求的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种微焦点射线管,包括阴极、阳极和外壳,所述阳极水平穿装在外壳上,所述阴极垂直安装在外壳的侧壁上,所述阴极包括灯丝、阴极级片和阴极罩,所述灯丝和阴极级片安装在阴极罩内部,所述阴极级片为多层级片,灯丝发出的电子束通过多层级片加速、聚焦后汇聚到阳极的靶面上形成微焦斑。优选的,所述外壳包括金属壳和玻壳,所述玻壳的前端通过第一可伐环与金属壳连接,所述玻壳的尾端通过第二可伐环与阳极尾端过渡连接,所述阴极罩通过钎焊与金 ...
【技术保护点】
1.一种微焦点射线管,包括阴极、阳极(6)和外壳,其特征在于:所述阳极(6)水平穿装在外壳上,所述阴极垂直安装在外壳的侧壁上,所述阴极包括灯丝(1)、阴极级片(3)和阴极罩(2),所述灯丝(1)和阴极级片(3)安装在阴极罩(2)内部,所述阴极级片(3)为多层级片,灯丝(1)发出的电子束通过多层级片加速、聚焦后汇聚到阳极(6)的靶面(5)上形成微焦斑。/n
【技术特征摘要】
1.一种微焦点射线管,包括阴极、阳极(6)和外壳,其特征在于:所述阳极(6)水平穿装在外壳上,所述阴极垂直安装在外壳的侧壁上,所述阴极包括灯丝(1)、阴极级片(3)和阴极罩(2),所述灯丝(1)和阴极级片(3)安装在阴极罩(2)内部,所述阴极级片(3)为多层级片,灯丝(1)发出的电子束通过多层级片加速、聚焦后汇聚到阳极(6)的靶面(5)上形成微焦斑。
2.根据权利要求1所述的一种微焦点射线管,其特征在于:所述外壳包括金属壳(4)和玻壳(8),所述玻壳(8)的前端通过第一可伐环(7)与金属壳(4)连接,所述玻壳(8)的尾端通过第二可伐环(9)与阳极...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘骏,王刘成,张伟,
申请(专利权)人:无锡日联科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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