有机光电组件的连续式量产设备及有机光电组件的制造方法技术

一种有机光电组件的连续式量产设备，包括第一腔体、第二腔体、以及图案化载具。图案化载具承载基板，其中基板覆盖有第一电极层及接触电极层，且其中图案化载具可部分遮蔽第一电极层及接触电极层。第一腔体，是用以在未被图案化载具遮蔽的第一电极层及接触电极层上，形成有机层。第二腔体，线性地排在第一腔体后方，用以在有机层上，形成第二电极层。本发明专利技术的连续式量产设备可以避免外界污染，提高组件的量产质量与速度。此外，本发明专利技术的图案化载具既可以作为载具，也可以作为屏蔽，故不需要更换其他屏蔽，大幅降低制造工艺所需的时间，也避免更换屏蔽时可能造成的污染。

【技术实现步骤摘要】
有机光电组件的连续式量产设备及有机光电组件的制造方法
本专利技术关于一种有机光电组件的连续式量产设备，以及关于一种有机光电组件的制造方法。
技术介绍
诸如有机发光二极管(organiclightemittingdiode，OLED)的发光装置借由沉积有机材料及金属材料于基板上所制成。传统上，使用团簇式沉积设备来进行各种材料的沉积。如图1所示，团簇式沉积设备20包括机械手臂710及呈放射状设置于机械手臂710周围的多个真空腔体720。机械手臂710配置以将基板放入真空腔体720中进行各种材料的沉积以制成发光装置。然而，使用此种团簇式沉积设备20来进行各种材料的沉积是耗时且高成本的。原因在于，当基板被放入真空腔体720中进行各种材料的沉积时，须更换真空腔体720中的沉积材料及对应的屏蔽。此外，必须等到各种材料沉积于基板上后，始得将其移出并放入下一个基板。因此，开发出一种可有效减少发光装置的制造工时及生产成本的设备，为各方所研究的课题。
技术实现思路
本专利技术提供一种有机光电组件的连续式量产设备，包括第一腔体、第二腔体、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机光电组件的连续式量产设备，其特征在于，包括：/n图案化载具，承载基板，其中所述基板覆盖有第一电极层及接触电极层，且其中所述图案化载具遮蔽所述第一电极层及所述接触电极层的一部分；/n第一腔体，用以在未被所述图案化载具遮蔽的所述第一电极层及所述接触电极层的另一部分上，形成有机层；以及/n第二腔体，线性地排在所述第一腔体后方，用以在所述有机层上，形成第二电极层。/n

【技术特征摘要】
1.一种有机光电组件的连续式量产设备，其特征在于，包括：
图案化载具，承载基板，其中所述基板覆盖有第一电极层及接触电极层，且其中所述图案化载具遮蔽所述第一电极层及所述接触电极层的一部分；
第一腔体，用以在未被所述图案化载具遮蔽的所述第一电极层及所述接触电极层的另一部分上，形成有机层；以及
第二腔体，线性地排在所述第一腔体后方，用以在所述有机层上，形成第二电极层。


2.如权利要求1所述的有机光电组件的连续式量产设备，其中所述第一腔体是第一真空蒸镀腔体。


3.如权利要求2所述的有机光电组件的连续式量产设备，其中所述第二腔体是第二真空蒸镀腔体。


4.如权利要求1所述的有机光电组件的连续式量产设备，其中在形成所述第二电极层及形成所述有机层时，所述图案化载具皆可作为屏蔽，部分遮蔽所述第一电极层及所述接触电极层，故不需要更换其他屏蔽。


5.如权利要求1所述的有机光电组件的连续式量产设备，还包括第一真空通道，其中在所述有机层形成之后，所述基板可以通过所述第一真空通道...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜丰文，张正澔，
申请(专利权)人：机光科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71