一种密集探针的吸尘机构制造技术

本发明专利技术涉及一种密集探针的吸尘机构，其特征包括吸尘罩、透光板；所述的吸尘罩由固定在一起的吸尘罩主体、吸尘筒构成；吸尘罩主体为中空且上端面和下端面开口的梯形壳体，吸尘筒固定在梯形壳体的一个斜面上；透光板盖在吸尘罩主体的顶端，且其与吸尘罩主体下端面开口位置对应位置加工有开口槽；吸尘罩主体的下端开口紧贴探针卡。本发明专利技术能够吸走激光切割过程中产生的半导体粉尘，吸尘效果优异。

A kind of vacuum mechanism with dense probe

【技术实现步骤摘要】
一种密集探针的吸尘机构
本专利技术涉及半导体激光加工领域，具体涉及一种密集探针的吸尘机构。
技术介绍
吸尘机构容易出现吸尘效果差，激光加工中半导体粉尘堆积在探针上，导致遮挡激光、探针导通、良率下降、产品报废的问题。半导体激光加工中，探针密集遮挡率高达65％左右，噪音安全要求下吸尘风速小只有10m/s，且除尘机构要躲开激光加工路径、照明光、探针接线，对除尘机构提出很高的要求。因此设计一种探针密集情况下、效果优异的吸尘机构，用于半导体激光加工设备十分必要。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种密集探针的吸尘机构，该机构能够达到优异的吸尘效果。为了解决上述技术问题，本专利技术的密集探针的吸尘机构包括吸尘罩、透光板；所述的吸尘罩由固定在一起的吸尘罩主体、吸尘筒构成；吸尘罩主体为中空且上端面和下端面开口的梯形壳体，吸尘筒固定在梯形壳体的一个斜面上；透光板盖在吸尘罩主体的顶端，且其与吸尘罩主体下端面开口位置对应位置加工有开口槽；吸尘罩主体的下端开口紧贴探针卡。所述的吸尘罩主体左右向纵截面为梯形、前后向纵截面为矩形，或者左右向纵截面和前后向纵截面均为梯形。所述的吸尘罩还包括固定连接板，固定连接板与吸尘罩主体固定连接。所述的吸尘筒为圆筒形。所述的透光板通过三个或四个手调锁紧螺钉与吸尘罩主体连接。所述的透光板通过一个手调锁紧螺钉和与其安装方向相反的螺钉与吸尘罩主体连接。所述的透光板采用有机玻璃板。有益效果：本专利技术中吸尘罩主体采用中空且上端面和下端面开口的梯形壳体，下端面开口可使底面紧贴探针卡，即使探针高度、倾角出现位置微调，仍能使吸尘罩底面紧贴探针，风速损失最小；梯形壳体可形成一个负压区，能够有效提高吸尘风速，密集探针下方的吸尘风速可达到2.2m/s(小于2m/s会产生粉尘堆积)，实现激光切割过程中产生的半导体粉尘被吸走，不会残留堆积在针尖、探针上，导致遮挡激光、探针导通，能够保证优异的吸尘效果。吸尘罩的上宽下窄梯形壳体及上方透光板的密封设计，能够保证最大限度的照明光进入，透光板中央的开口槽能够在躲开激光加工路径的同时能最大限度减少风速损失；梯形壳体下面窄能够躲开密布的探针接线。采用手调锁紧螺钉可方便的打开透光板，达到调整探针位置的目的。本专利技术可适应不同规格型号的探针卡。在探针密集遮挡率高达65％左右、噪音安全要求小风速10m/s下，能够达到优异的吸尘效果。附图说明下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细说明。图1是本专利技术的结构示意图。图2是本专利技术与探针卡连接的结构示意图。图3是图2的纵向剖视图。图4是本专利技术的俯视图。其中：11、吸尘罩主体；12、吸尘筒；13、固定连接板；2、透光板；21；开口槽；3、手调锁紧螺钉；4、探针卡。具体实施方式如图1～4所示，本专利技术的密集探针的吸尘机构包括吸尘罩、透光板2、手调锁紧螺钉3。所述的吸尘罩由固定在一起的吸尘罩主体11、吸尘筒12、固定连接板13构成，三者可以是一体成型的结构，也可以是焊接在一起的结构；所述的吸尘罩主体11为中空且上端面和下端面开口的梯形壳体，可以左右向纵截面为梯形、前后向纵截面为矩形，也可以左右向纵截面和前后向纵截面均为梯形；吸尘筒12固定在梯形壳体的一个斜面上，形状为圆筒形但不限于圆筒形；固定连接板13在吸尘罩主体11的一侧，并且与吸尘罩主体11连接为一个整体，用于整个吸尘罩的连接固定。所述的透光板2可以通过至少三个手调锁紧螺钉3安装在吸尘罩主体11上面。锁紧手调锁紧螺钉3可使透光2紧贴在吸尘罩主体11上表面。所述的透光板2通过三个头部在下的螺钉及一个手调锁紧螺钉3安装在吸尘罩主体11上面，盖住其顶端开口部分；三个螺钉及手调锁紧螺钉3分别位于透光板2的四个顶角处；透光板2的与吸尘罩主体11下端开口位置对应位置加工有开口槽21；透光板2可以采用透明有机玻璃板，也可以采用其他透明材料。松开手调锁紧螺钉3，上移、旋转打开透光板2，可调整探针位置。本专利技术使用前需要将其组装密封。锁紧手调锁紧螺钉3使透光2紧贴在吸尘罩主体11上表面；吸尘罩主体11的下端开口紧贴探针卡4；吸尘罩前部的吸尘筒12接好设备提供的吸尘接口；待加工半导体紧贴固定在探针卡4底部探针41的下面。此时即可用激光加工半导体，同时启动吸尘设备吸走半导体粉尘。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种密集探针的吸尘机构，其特征在于包括吸尘罩、透光板(2)；所述的吸尘罩由固定在一起的吸尘罩主体(11)、吸尘筒(12)构成；吸尘罩主体(11)为中空且上端面和下端面开口的梯形壳体，吸尘筒(12)固定在梯形壳体的一个斜面上；透光板(2)盖在吸尘罩主体(11)的顶端，且其与吸尘罩主体(11)下端面开口位置对应位置加工有开口槽(21)；吸尘罩主体(11)的下端开口紧贴探针卡(4)。/n

【技术特征摘要】
1.一种密集探针的吸尘机构，其特征在于包括吸尘罩、透光板(2)；所述的吸尘罩由固定在一起的吸尘罩主体(11)、吸尘筒(12)构成；吸尘罩主体(11)为中空且上端面和下端面开口的梯形壳体，吸尘筒(12)固定在梯形壳体的一个斜面上；透光板(2)盖在吸尘罩主体(11)的顶端，且其与吸尘罩主体(11)下端面开口位置对应位置加工有开口槽(21)；吸尘罩主体(11)的下端开口紧贴探针卡(4)。


2.根据权利要求1所述的密集探针的吸尘机构，其特征在于所述的吸尘罩主体(11)左右向纵截面为梯形、前后向纵截面为矩形，或者左右向纵截面和前后向纵截面均为梯形。


3.根据权利要求1所述的密集探针的吸尘机构，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：王洋，张政福，郭尧，陶鑫，卜煜，
申请(专利权)人：长春光华微电子设备工程中心有限公司，
类型：发明
国别省市：吉林;22