ITO蚀刻用草酸溶液的配制装置制造方法及图纸

技术编号:24571140 阅读:39 留言:0更新日期:2020-06-20 23:46
本实用新型专利技术公开了ITO蚀刻用草酸溶液的配制装置,包括支撑杆和工作台,所述支撑杆安装在工作台的上端外壁上,所述工作台的下端四角处外壁上设置有柱腿,在现有的溶液配制装置的基础上进行改进创新,本实用新型专利技术ITO蚀刻用草酸溶液的配制装置主要是由转轴、转盘、控制阀、输液管、支撑杆、加热器、反应桶、搅拌杆、温度计、刻度溶液桶、固定块和电热导管等构件组成,能够通过刻度溶液桶测量储存待反应溶液,通过转轴转动转盘,利用输液管按比例输送溶液到反应桶中进行反应制备,通过加热器对反应溶液加热,提高反应速率,利用温度计时刻掌握溶液温度,利用搅拌杆搅拌溶液使之预热均匀,更加方便快捷的制备草酸溶液。

Preparation device of oxalic acid solution for ITO etching

【技术实现步骤摘要】
ITO蚀刻用草酸溶液的配制装置
本技术属于溶液配制相关
,具体涉及ITO蚀刻用草酸溶液的配制装置。
技术介绍
草酸溶液是ITO蚀刻用的必要使用溶液,关于ITO蚀刻溶液的配制常用HCL、HNO3和H2O按照一定的比例反应配制完成,在配制过程中,反应开始时速度较慢,需要适宜的升高溶液温度进行快速反应。现有的溶液配置装置技术存在以下问题:现有的溶液配置装置在实际的生产制备过程中还存在着一定的不足之处,现有的溶液配置装置不能够很好的满足ITO蚀刻溶液的配制,使得草酸溶液在配制过程中产生不必要的麻烦,缺乏完善的配制仪器和反应环境。
技术实现思路
本技术的目的在于提供ITO蚀刻用草酸溶液的配制装置,以解决上述
技术介绍
中提出的现有的溶液配置装置不能够很好的满足ITO蚀刻溶液的配制的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:ITO蚀刻用草酸溶液的配制装置,包括支撑杆和工作台,所述支撑杆安装在工作台的上端外壁上,所述工作台的下端四角处外壁上设置有柱腿,所述支撑杆的正上方设置有转盘,所述转盘和支撑杆通过转轴固定连接,所述转本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.ITO蚀刻用草酸溶液的配制装置,包括支撑杆(7)和工作台(5),其特征在于:所述支撑杆(7)安装在工作台(5)的上端外壁上,所述工作台(5)的下端四角处外壁上设置有柱腿(6),所述支撑杆(7)的正上方设置有转盘(2),所述转盘(2)和支撑杆(7)通过转轴(1)固定连接,所述转盘(2)的上端外壁上设置有固定座(17),所述固定座(17)的圆周内部设置有刻度溶液桶(15),所述刻度溶液桶(15)的上端外壁上设置有盖子(16),所述刻度溶液桶(15)的下端设置有竖向输液管(4),所述输液管(4)的最下端穿过转盘(2)并设置在工作台(5)的正上方,所述输液管(4)的圆周外壁上设置有控制阀(3),所...

【技术特征摘要】
1.ITO蚀刻用草酸溶液的配制装置,包括支撑杆(7)和工作台(5),其特征在于:所述支撑杆(7)安装在工作台(5)的上端外壁上,所述工作台(5)的下端四角处外壁上设置有柱腿(6),所述支撑杆(7)的正上方设置有转盘(2),所述转盘(2)和支撑杆(7)通过转轴(1)固定连接,所述转盘(2)的上端外壁上设置有固定座(17),所述固定座(17)的圆周内部设置有刻度溶液桶(15),所述刻度溶液桶(15)的上端外壁上设置有盖子(16),所述刻度溶液桶(15)的下端设置有竖向输液管(4),所述输液管(4)的最下端穿过转盘(2)并设置在工作台(5)的正上方,所述输液管(4)的圆周外壁上设置有控制阀(3),所述支撑杆(7)的右侧工作台(5)上设置有加热器(8),所述加热器(8)的前端外壁上设置有控制器(9),所述加热器(8)的圆周内部设置有反应桶(11),所述反应桶(11)的上端外壁上设置有桶盖(12),所述桶盖(12)和反应桶(11)通过桶口(10)固定连接,所述桶盖(12)的上端外壁上设置有搅拌杆(13),所述搅拌杆(13)的左侧桶盖(12)上设置有温度计(14),所述搅拌杆(13)的最下端穿过桶盖(12)并设置在反应桶(11)的圆周内部,所述温度计(14)的最下端穿过桶盖(12...

【专利技术属性】
技术研发人员:梁小朝连杰姚浩川黄德新
申请(专利权)人:合肥中聚合臣电子材料有限公司
类型:新型
国别省市:安徽;34

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