一种F40大数值孔径高功率激光衍射极限准直物镜制造技术

本实用新型专利技术涉及一种F40大数值孔径高功率激光衍射极限准直物镜，沿着915nm激光入射方向依次设置第一透镜、第二透镜、第三透镜，第一透镜为双凸透镜，第二透镜为平凸透镜，第三透镜为双凸透镜，第一透镜与第二透镜的中心间隔d2＝12.7mm，第二透镜与第三透镜的中心间隔d4＝4.1mm，本实用新型专利技术达到的性能参数是：焦距为40mm，数值孔径为0.5，入瞳直径为20mm，非球面准直镜几乎接近衍射极限，波像差小于0.22λ。本实用新型专利技术应用于激光微加工系统，可以解决同轴高度跟踪，加工后深度等尺寸的测量问题，从而提高设备仪器的智能化与精密化水平。

A diffraction limited collimator for F40 high power laser with large numerical aperture

【技术实现步骤摘要】
一种F40大数值孔径高功率激光衍射极限准直物镜
本技术涉及激光加工领域，具体涉及一种F100高功率激光多片复合消色差聚焦物镜。
技术介绍
近几年来，随着激光技术的发展，激光加工应用的领域也越来越广泛。激光加工有着传统加工无法比拟的优点，它切割速度快、材料实用性强、可加工的范围更大。不过，在激光微加工领域，激光经过显微聚焦物镜后的焦点位置的同轴实时跟踪、加工后的深度同步检测都是目前难以实现的。
技术实现思路
本技术为了解决现有技术存在的缺陷，设计了一种将连续光谱光源输出为近似准直光束的大数值孔径高功率衍射极限准直物镜。本技术采用的技术方案是：一种F40大数值孔径高功率激光衍射极限准直物镜，其特征在于，包括沿激光入射方向依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜，所述第一透镜为双凸透镜，所述第二透镜为平凹透镜，所述第三透镜为双凸透镜，所述第一透镜与第二透镜中心之间的距离大于第二透镜与第三透镜中心之间的距离。进一步地，所述第一透镜的中心厚度为5.8mm，所述第二透镜的中心厚度为5.7mm，所述第三透镜的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种F40大数值孔径高功率激光衍射极限准直物镜，其特征在于，包括沿激光入射方向依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜，所述第一透镜为双凸透镜，所述第二透镜为平凹透镜，所述第三透镜为双凸透镜，所述第一透镜与第二透镜中心之间的距离大于第二透镜与第三透镜中心之间的距离。/n

【技术特征摘要】
1.一种F40大数值孔径高功率激光衍射极限准直物镜，其特征在于，包括沿激光入射方向依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜，所述第一透镜为双凸透镜，所述第二透镜为平凹透镜，所述第三透镜为双凸透镜，所述第一透镜与第二透镜中心之间的距离大于第二透镜与第三透镜中心之间的距离。


2.如权利要求1所述的F40大数值孔径高功率激光衍射极限准直物镜，其特征在于，所述第一透镜的中心厚度为5.8mm，所述第二透镜的中心厚度为5.7mm，所述第三透镜的中心厚度为5.6mm。


3.如权利要求1所述的F40大数值孔径高功率激光衍射极限准直物镜，其特征在于，所述第一透镜与第二透镜中心之间的距离为12.7mm，所述第二透镜与第三透镜中心之间的距离为4.1mm。


4.如权利要求1所述的F40大数值孔径高功率激光衍射极限准直物镜，其特征在于，所述第一透镜包括第一曲面和第二曲...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖向荣，
申请(专利权)人：武汉奥莱光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42