基于矩形环共振腔与入射波导接桥的表面等离子体滤波器制造技术

本发明专利技术提供一种基于矩形环共振腔与入射波导接桥的表面等离子体滤波器，主要简化了现有表面等离子体滤波器通过改变结构参数调谐振频率的手段，以此达到简化这类滤波器制作工艺的目的。该基于矩形环共振腔与入射波导接桥的表面等离子体滤波器包括设置在介质层两侧的金属层，介质层一侧的金属层内设置单个矩形环共振腔，共振腔与入射波导之间接一波导桥，波导桥设置在共振腔的对称轴上。该结构具有极强的光束缚效应，能突破衍射极限的限制，在纳米尺度对光进行传输；与电子器件和传统光子器件进行有效匹配连接，只需通过改变波导桥长，就能够有效的滤掉不同波长的光波。该滤波器制作工艺简单，在光通讯、光集成、光信息处理等方面具有较高应用价值。

【技术实现步骤摘要】
基于矩形环共振腔与入射波导接桥的表面等离子体滤波器
本专利技术为一种微纳光学器件，具体涉及一种基于矩形环共振腔与入射波导接桥的表面等离子体滤波器。
技术介绍
表面等离子体滤波器具有许多优点，例如结构简单紧凑、尺寸小、不受衍射极限的限制、为电子回路与光子器件的兼容提供了可能等，在诸多领域，尤其光集成、光计算和光信息处理等领域，有广泛的应用前景。 基于金属纳米矩形环共振腔与入射波导接桥滤波和金属-介质-金属波导的高光束缚等特性，表面等离子体滤波器具有许多独特的优势。一般而言，通过合理设计矩形环共振腔与入射波导之间所接波导桥长度可以有效调节矩形环共振腔的谐振波长，不同波长的光信号将在对应不同桥长的矩形环共振腔中被滤掉。 表面等离子体滤波器作为一种重要的可集成光子器件，有效的解决了传统波滤波器受到衍射极限的限制而导致体积庞大、难以集成等缺点。表面等离子体是一种由外部电磁场与金属表面自由电子形成的相干共振，入射光能量主要束缚在金属表面并向前传播，它能够有效克服衍射极限，为微纳光子器件的研制提供了新的途径，但是金属共振腔结构参数的微小改变，就会引起表面等离子体谐振频率本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于矩形环共振腔与入射波导接桥的表面等离子体滤波器，其特征在于：包括设置在介质层两侧的金属层，介质层一侧的金属层内设置单个矩形环共振腔，矩形环共振腔与入射波导之间接一波导桥，波导桥设置在矩形环共振腔的对称轴上。

【技术特征摘要】
1.一种基于矩形环共振腔与入射波导接桥的表面等离子体滤波器，其特征在于:包括设置在介质层两侧的金属层，介质层一侧的金属层内设置单个矩形环共振腔，矩形环共振腔与入射波导之间接一波导桥，波导桥设置在矩形环共振腔的对称轴上。2.根据权利要求1所述的基于矩形环共振腔与入射波导接桥的表面等离子体滤波器，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏秀山，王继成，宋慈，曲世年，
申请(专利权)人：江南大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32