一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器，包括绝缘基底层，所述绝缘基底层的上方设置有带有孔洞的第一贵金属薄膜层，所述第一贵金属薄膜层的上方设置有金属氧化物层,所述金属氧化物层的上设置有第二贵金属薄膜层；与传统的测量金属氧化物水平方向的电阻相比，该基于光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器测量金属氧化物竖直方向的电阻变化，相对来说电阻变化更大，因此，该气体传感器具有结构简单、气体探测灵敏度高的优点。

A metal oxide gas sensor based on the principle of optical resonator

【技术实现步骤摘要】
一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器
本专利技术属于气体探测
，具体涉及一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器。
技术介绍
众所周知的一个问题是在油品生产或类似设施中可能产生有毒气体，而光学传感器通常用于通过监测气体的吸收谱或荧光谱来监测这样的环境，现有技术中以以下步骤对有害气体执行测量：将气体引入测量单元并且发射某一波长或波长范围的光穿过单元，以及直接检测对所选的典型波长的吸收或者在检测器处测量荧光谱，通常使用法布里-珀罗干涉仪(FabryPerotinterferometer)来选择特定用于要检测的气体的波长。上述气体传感器主要存在如下缺陷：气体传感器的灵敏度较低、选择性较差、功耗大、制备工艺复杂、价格高等因素，而所有这些因素都与气体传感器所采用的敏感材料和气体传感器的结构有关。可以说，敏感材料与传感器的结构是新型气体传感器乃至新的气体传感器技术的基础与关键。
技术实现思路
本专利技术提供了一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器，包括绝缘基底层，所述绝缘基底层的上方设置有带有孔洞的第一贵金属薄膜层，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器，其特征在于：包括绝缘基底层(1)，所述绝缘基底层(1)的上方设置有带有孔洞(5)的第一贵金属薄膜层(2)，所述第一贵金属薄膜层(2)的上方设置有金属氧化物层(3),所述金属氧化物层(3)的上设置有第二贵金属薄膜层(4)。/n

【技术特征摘要】
1.一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器，其特征在于：包括绝缘基底层(1)，所述绝缘基底层(1)的上方设置有带有孔洞(5)的第一贵金属薄膜层(2)，所述第一贵金属薄膜层(2)的上方设置有金属氧化物层(3),所述金属氧化物层(3)的上设置有第二贵金属薄膜层(4)。


2.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器，其特征在于：所述多个孔洞(5)为周期排列。


3.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器，其特征在于：所述孔洞(5)底部设置有贵金属颗粒层(6)。


4.如权利要求1所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器，其特征在于：所述贵金属颗粒层(6)的高度高于第一贵金属薄膜层(2)的厚度。


5.如权利要求4所述的一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘黎明，迟锋，易子川，王红航，杨健君，
申请(专利权)人：电子科技大学中山学院，
类型：发明
国别省市：广东;44