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本发明涉及一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器，包括绝缘基底层，所述绝缘基底层的上方设置有带有孔洞的第一贵金属薄膜层，所述第一贵金属薄膜层的上方设置有金属氧化物层,所述金属氧化物层的上设置有第二贵金属薄膜层；与传统的测量金属氧化物水平方...
该专利属于电子科技大学中山学院所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学中山学院授权不得商用。

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