【技术实现步骤摘要】
一种带有光束稳定性分析的激光诱导击穿光谱探测系统
本专利技术涉及一种激光光谱探测系统，具体涉及一种带有光束稳定性分析的激光诱导击穿光谱(Laser-InducedBreakdownSpectroscopy，简称LIBS)探测系统。
技术介绍
激光诱导击穿光谱(LIBS)是一种采用高能脉冲激光照射样品材料，使材料表面形成高温、高密度的等离子体，通过探测等离子体发出的光谱组成及强度，实现材料元素定性和定量分析的光谱检测技术。传统的纳秒LIBS探测方法利用纳秒脉冲激光器作为激励源，在脉冲与样品相互作用时，通过等离子体发射谱线强度来对元素进行定量分析，由于脉冲激光的冲能量或光束质量的波动，会影响等离子体发射谱线强度的稳定性，使LIBS光谱信号重复性较差，严重影响LIBS定量探测精度。为提高LIBS对元素的定量探测稳定性，在已公开的实验中，通过监测激励源能量，提高等离子体发射光谱稳定性，本专利提出一种带有光束稳定性分析的激光诱导击穿光谱(LIBS)探测系统，通过同时监测激励源能量和光束质量，可以进一步降低激励源波动对L...
【技术保护点】
1.一种带有光束稳定性分析的激光诱导击穿光谱探测系统，它包括固体脉冲激光器(1)，45°放置的比例分光镜A(2)，光束质量分析仪(3)，45°放置的比例分光镜B(4)，能量计(5)，聚焦透镜(6)，光纤耦合镜(8)，光纤调整架(9)，ICCD光谱仪(11)，计算机(12)，其特征在于：固体脉冲激光器(1)出光口前方设有与出射光路成45°角放置的比例分光镜A(2)，45°放置的比例分光镜A(2)旁边有与比例分光镜A(2)反射光路成45°角放置的比例分光镜B(4)，45°放置的比例分光镜B(4)前方设有能量计(5)，45°放置的比例分光镜A(2)、45°放置的比例分光镜B(4)...
【技术特征摘要】
1.一种带有光束稳定性分析的激光诱导击穿光谱探测系统，它包括固体脉冲激光器(1)，45°放置的比例分光镜A(2)，光束质量分析仪(3)，45°放置的比例分光镜B(4)，能量计(5)，聚焦透镜(6)，光纤耦合镜(8)，光纤调整架(9)，ICCD光谱仪(11)，计算机(12)，其特征在于：固体脉冲激光器(1)出光口前方设有与出射光路成45°角放置的比例分光镜A(2)，45°放置的比例分光镜A(2)旁边有与比例分光镜A(2)反射光路成45°角放置的比例分光镜B(4)，45°放置的比例分光镜B(4)前方设有能量计(5)，45°放置的比例分光镜A(2)、45°放置的比例分光镜B(4)和能量计(5)光入口三者几何中心共线，透过比例分光镜B(4)光进入能量计(5)；45°放置的比例分光镜B(4)旁边设有接收比例分光镜B(4)反射光的光束质量分析仪(3)，45°放置的比例分光镜A(2)前方设有用于聚集透过比例分光镜A光束的聚焦透镜(6)，位于聚焦透镜(6)远离比例分光镜A一侧的聚焦透镜(6)焦点处放置样品靶材(7)，聚焦透镜旁边设有光纤耦合镜(8)，使用带接...
【专利技术属性】
技术研发人员：周冬建，多丽萍，金玉奇，李留成，王元虎，李国富，于海军，唐书凯，王增强，汪健，曹靖，
申请(专利权)人：中国科学院大连化学物理研究所，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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