一种图像探测器制造技术

本申请实施例提供一种图像探测器，包括复数个光敏像素所组成的像素阵列。光敏像素包括光电转换层及遮光层，光电转换层用于将入射光转换为光生电荷光电转换层；遮光层设置在光电转换层靠近入光面的一侧，并且包括遮光部及复数个通孔，通孔的中心线垂直于光电转换层，用于选择部分入射光通过并传输至光电转换层。其中，遮光层的复数个通孔中，通孔的大小与通孔的中心到光敏像素的边缘的最近距离相关，最近距离越小通孔就越小。本申请实施例提供的图像探测器可以减少相邻的光敏像素位置的入射光到达本光敏像素的概率，降低串扰；另外，靠近中心位置的通孔较大可以在不增加串扰风险的情况下提升中心位置获取的光量从而提高信噪比。

An image detector

【技术实现步骤摘要】
一种图像探测器
本申请涉及图像探测
，具体涉及一种图像探测器。
技术介绍
图像探测器是通过来自物体的能量辐射来探测物体的形状或内部结构，这种辐射或者来自物体本身，或者来自外界辐射的反射。由于物体的表面形状和内部结构会对辐射信号的空间分布发生调制作用，因此来自物体的辐射的空间分布就自然会携带着物体的表面或体内结构的图像信息，通过将该图像的辐射分布转换为电信号，从而获取被探测物体的形状或内部结构。例如，平板式放射线图像探测器就是图像探测器的一种，已经被广泛应用于数字化医疗诊断和放射线治疗的实时监控。平板式放射线图像探测器根据探测原理和结构，大致可以分为两类：直接变换式和间接变换式。其中，间接变换式探测器主要包括放射线转换层和光学图像探测器，放射线转换层能够将放射线转换成可见光，光学图像探测器包括多个光电转换器件。可见光被光电转换器件接收后产生电子空穴对，电子空穴对在电场的作用下分离后，分别向着光电转换器件的阳极和阴极移动后被收集，然后产生电信号并且输出给外部电路，最终实现图像的探测。在目前的间接变换式探测器中，经放射线本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种图像探测器，其特征在于，包括复数个光敏像素所组成的像素阵列，所述光敏像素包括：/n光电转换层，用于将所述入射光转换为光生电荷；/n遮光层，设置在所述光电转换层靠近入光面的一侧，所述遮光层包括遮光部及复数个通孔，所述通孔的中心线垂直于所述光电转换层，用于选择部分所述入射光通过并传输至所述光电转换层；/n其中，所述遮光层的所述复数个通孔中，所述通孔的大小与所述通孔的中心到所述光敏像素的边缘的最近距离相关，所述最近距离越小所述通孔就越小。/n

【技术特征摘要】
1.一种图像探测器，其特征在于，包括复数个光敏像素所组成的像素阵列，所述光敏像素包括：
光电转换层，用于将所述入射光转换为光生电荷；
遮光层，设置在所述光电转换层靠近入光面的一侧，所述遮光层包括遮光部及复数个通孔，所述通孔的中心线垂直于所述光电转换层，用于选择部分所述入射光通过并传输至所述光电转换层；
其中，所述遮光层的所述复数个通孔中，所述通孔的大小与所述通孔的中心到所述光敏像素的边缘的最近距离相关，所述最近距离越小所述通孔就越小。


2.根据权利要求1所述的图像探测器，其特征在于，所述光敏像素还包括：复数个凸透镜组成的透镜阵列，设置在所述遮光层靠近入光面一侧，
所述凸透镜的光轴垂直于所述光电转换层，并与所述通孔一一对应地设置，将部分所述入射光汇聚到所述通孔处。


3.根据权利要求2所述的图像探测器，其特征在于，
所述复数个通孔包括一个中心通孔和至少一个环状通孔，所述环状通孔环绕所述中心通孔；
所述复数个凸透镜包括中心凸透镜和至少一个环状凸透镜，所述环状凸透镜环绕所述中心凸透镜；
所述中心凸透镜与所述中心通孔对应设置，所述环状凸透镜与所述环状通孔一一对应设置。


4.根据权利要求3所述的图像探测器，其特征在于，
所述环状通孔的宽度和所述环状通孔的中心到所述光敏像素的边缘的最近距离有关，所述最近距离越小，所述环状通孔的宽度就越小。


5.根据权利要求2所述的图像探测器，其特征在于，
所述复数个通孔阵列式排布，所述复数个凸透镜阵列式排布。


6.根据权利要求1或2所述的图像探测器，其特征在于，
所述图像探测器还包括一个有一定厚度的发光器件，用以提供所述图像传感器的入射光。

...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄忠守，顾铁，
申请(专利权)人：上海奕瑞光电子科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31