一种超小型全固态266nm脉冲激光器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种超小型全固态266nm脉冲激光器，包括依次排列构成光路的泵浦源、光学耦合系统、自倍频晶体、饱和吸收体、输出镜和BBO倍频晶体；泵浦源发出的波长为808.5nm的激光；光学耦合系统将泵浦源发出的激光耦合至自倍频晶体上；自倍频晶体为Nd:YCOB晶体或Nd:GdCOB晶体,并且前端面镀808nm高透膜和1064nm及532nm高反膜，后端面镀1064nm及532nm减反膜；输出镜镀1064nm高反膜及532nm高透膜；BBO倍频晶体的出光端镀532nm及266nm减反膜。本实用新型专利技术的激光器体积小,结构紧凑，通过被动调Q装置实现脉冲激光输出，由于被动调Q是被激光辐射自身启动的，因此不需要高压、快速电光驱动器或射频调制器，使得激光器的结构设计简单、生产成本大大降低,同时也简化了加工和装配环节,提高了生产效率。

A subminiature all solid state 266nm pulse laser

【技术实现步骤摘要】
一种超小型全固态266nm脉冲激光器
本技术涉及激光器
，尤其涉及一种超小型全固态266nm脉冲激光器。
技术介绍
266nm脉冲激光器由于具有波长短、能量集中、分辨力高等特点而被广泛用于工业零部件加工、微电子学、光谱分析和医疗等领域。产生266nm脉冲激光器输出通常是采用声光调制的方式实现脉冲输出，但是采用声光调Q，使激光器的设计复杂、体积大、稳定性差且成本高。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种超小型全固态266nm脉冲激光器本技术通过以下技术方案来实现上述目的：一种超小型全固态266nm脉冲激光器，包括依次排列构成光路的泵浦源、光学耦合系统、自倍频晶体、饱和吸收体、输出镜和BBO倍频晶体；所述泵浦源用于发出的波长为808.5nm的激光，与所述自倍频晶体的吸收峰相匹配；所述光学耦合系统用于将所述泵浦源发出的激光耦合至所述自倍频晶体上；所述自倍频晶体为Nd:YCOB晶体或Nd:GdCOB晶体,并且前端面镀808nm高透膜和1064nm及532nm高反膜，后端面镀1064nm本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超小型全固态266nm脉冲激光器，其特征在于，包括依次排列构成光路的泵浦源、光学耦合系统、自倍频晶体、饱和吸收体、输出镜和BBO倍频晶体；/n所述泵浦源用于发出的波长为808.5nm的激光，与所述自倍频晶体的吸收峰相匹配；所述光学耦合系统用于将所述泵浦源发出的激光耦合至所述自倍频晶体上；所述自倍频晶体为Nd:YCOB晶体或Nd:GdCOB晶体,并且前端面镀808nm高透膜和1064nm及532nm高反膜，后端面镀1064nm及532nm减反膜；所述输出镜镀1064nm高反膜及532nm高透膜；所述BBO倍频晶体的出光端镀532nm及266nm减反膜。/n

【技术特征摘要】
1.一种超小型全固态266nm脉冲激光器，其特征在于，包括依次排列构成光路的泵浦源、光学耦合系统、自倍频晶体、饱和吸收体、输出镜和BBO倍频晶体；
所述泵浦源用于发出的波长为808.5nm的激光，与所述自倍频晶体的吸收峰相匹配；所述光学耦合系统用于将所述泵浦源发出的激光耦合至所述自倍频晶体上；所述自倍频晶体为Nd:YCOB晶体或Nd:GdCOB晶体,并且前端面镀808nm高透膜和1064nm及532nm高反膜，后端面镀1064nm及532nm减反膜；所述输出镜镀1064nm高反膜及532nm高透膜；所述BBO倍频晶体的出光端镀532nm及266nm减反膜。


2.根据权利要求1所述的一种超小型全固态266nm脉冲激光器，其特征在于，所述自倍频晶体、饱和吸收体及BBO倍频晶体的侧面包裹铟膜。


3.根据权利要求1所述的一种超小型全固态266nm脉冲激光器，其特征在于，所述光学耦合系统采用非球面透镜。


4.根据权利要求1所述的一种超小型全固态266nm脉冲激光器，其特征在于，所述自倍频晶体的晶体长度为10mm，...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭成桥，孟德文，李慧芳，
申请(专利权)人：北京镭志威光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11