【技术实现步骤摘要】
一种扫描镜监测系统及方法
本专利技术涉及激光扫描
，尤其涉及一种扫描镜监测系统及方法。
技术介绍
MEMS器件可用于快速光学扫描领域，在投影显示、条形码扫描、激光打印机、医疗成像、光通讯等领域具有广泛应用。近年来，由于MEMS微振镜应用,，帮助激光雷达摆脱了笨重的马达、多棱镜等机械运动装置，特别是毫米级尺寸的MEMS微振镜的使用，大大减小了激光雷达的尺寸。无论从美观度、车载集成度还是成本的角度考虑，MEMS微振镜都具有明显的优势。但在MEMS微振镜的使用过程中，当MEMS微振镜出现机械故障、破损故障等时，会造成MEMS微振镜停止工作、扫描范围缺失等情况，进而激光器发射的光束会连续聚焦于一点，激光功率会集中入射至人眼，导致人眼单位面积接收到的光功率增加，随着单位面积的光功率迅速升高，进而可能导致人眼受到损伤，严重者甚至致使失明。并且，MEMS微振镜出现故障时，扫描范围缺失，也会造成系统的信号缺失。因此，在MEMS微振镜的使用中，人眼安全保护尤为重要。如何有效地实现对扫描镜的实时异常监测，在扫描镜停止的瞬间...
【技术保护点】
1.一种扫描镜监测系统，包括控制器和扫描装置，其特征在于：所述控制器包括处理器以及控制电路；所述扫描装置包括发射器/接收器以及扫描组件；所述扫描组件包括支架、安装于所述支架上的扫描镜、电容器、第一导线以及监测电路；其中，/n所述支架包括有万向架，所述扫描镜安装在所述万向架上以进行二维偏转；/n所述电容器包括有设置在所述支架、扫描镜以及万向架上的至少一个电极；/n所述第一导线缠绕设置于所述扫描镜的边界上，用于连接扫描镜上的电极；/n所述监测电路用于监测所述电容器的信号变化，并将监测信号发送至控制电路；/n所述控制电路接收所述监测信号，对扫描组件的结构完整性和工作状态进行判断，...
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种扫描镜监测系统，包括控制器和扫描装置，其特征在于：所述控制器包括处理器以及控制电路；所述扫描装置包括发射器/接收器以及扫描组件；所述扫描组件包括支架、安装于所述支架上的扫描镜、电容器、第一导线以及监测电路；其中，
所述支架包括有万向架，所述扫描镜安装在所述万向架上以进行二维偏转；
所述电容器包括有设置在所述支架、扫描镜以及万向架上的至少一个电极；
所述第一导线缠绕设置于所述扫描镜的边界上，用于连接扫描镜上的电极；
所述监测电路用于监测所述电容器的信号变化，并将监测信号发送至控制电路；
所述控制电路接收所述监测信号，对扫描组件的结构完整性和工作状态进行判断，以对发射器/接收器以及扫描组件的工作状态进行调制。
2.如权利要求1所述的扫描镜监测系统，其特征在于：所述电容器包括第一电容器、第二电容器、第三电容器以及第四电容器；其中，支架上的第一电极与万向架上的第二电极限定所述第一电容器；万向架上的第三电极与扫描镜上的第四电极限定所述第二电容器；扫描镜上的第五电极与万向架上的第六电极限定所述第三电容器；而万向架上的第七电极与支架上的第八电极限定所述第四电容器。
3.如权利要求2所述的扫描镜监测系统，其特征在于：所述扫描组件还包括第一铰链、第二铰链、第三铰链以及第四铰链；其中，所述扫描镜通过所述第一铰链和所述第四铰链与所述万向架铰接，使得所述扫描镜可沿着第一铰链与第四铰链的连线方向振荡偏转；所述万向架通过所述第二铰链和所述第三铰链与所述支架铰接，使得所述万向架可沿着第二铰链与第三铰链的连线方向振荡偏转。
4.如权利要求3所述的扫描镜监测系统，其特征在于：所述扫描组件还包括连续调制信号单元，用于输出高频电压信号和低频电压信号；所述支架上设置有第一焊点、第二焊点、第三焊点以及第四焊点；其中，所述第一焊点一端连接所述调制信号单元，另一端连接所述第一电极；所述第二焊点一端连接所述调制信号单元，另一端连接所述第三电极；所述第三焊点一端连接所述监测电路，另一端连接所述第六电极；所述第四焊点一端连接所述监测电路，另一端连接所述第八电极。
技术研发人员：马宣，周兴，王兆民，孙飞，崔东曜，
申请(专利权)人：深圳奥比中光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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