具有转轴驱动组件的多自由度样品杆制造技术

本发明专利技术公开了一种具有转轴驱动组件的多自由度样品杆，包括外壳和转轴，外壳和转轴之间设有至少一组转轴驱动组件，每一组转轴驱动组件包括两个对称设置的驱动单元，驱动单元包括基板，电极和压电陶瓷片。通过设置多组转轴驱动组件，使转轴能够自转和轴向移动，实现样品杆多自由度的驱动。

Multi degree of freedom sample rod with shaft drive assembly

【技术实现步骤摘要】
具有转轴驱动组件的多自由度样品杆
本专利技术涉及电子显微镜、透射电镜下使用的样品杆。
技术介绍
透射电子显微镜（TEM）可以看到在普通光学显微镜下无法看清的小于0.2μm的细微结构，这些结构称为亚显微结构或超微结构。1932年Ruska专利技术了以电子束为光源的透射电子显微镜，目前TEM的分辨力可达0.2nm。原位观察技术在透射电子显微学研究中有着悠久的历史。通过在样品上施加各种物理作用，利用透射电子显微镜（透射电镜）来观察材料的微观结构和化学状态的变化，可以直观地研究材料或器件在实际使用过程中的性能表现，对于材料性能的研究有着重要的实际意义。透射电镜中的原位技术其难度在于不但要将物理作用准确地施加在样品上，同时还要满足一系列苛刻的条件，比如要维持电镜系统的超高真空度，保证样品台极高的稳定度，且不能干扰成像光路，整个结构必须紧凑以适用于透射电镜狭小的样品室等。因此，原位电镜技术的难点主要体现在原位样品杆的研究和制作上。瑞典K.Svensson等人在2003年发表的文章《Compactdesignofatransmissionel本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.具有转轴驱动组件的多自由度样品杆，其特征在于：包括骨架和转轴，骨架和转轴之间设有至少一组转轴驱动组件，每一组转轴驱动组件包括驱动单元，驱动单元包括基板和压电陶瓷片。/n

【技术特征摘要】
1.具有转轴驱动组件的多自由度样品杆，其特征在于：包括骨架和转轴，骨架和转轴之间设有至少一组转轴驱动组件，每一组转轴驱动组件包括驱动单元，驱动单元包括基板和压电陶瓷片。


2.如权利要求1所述的具有转轴驱动组件的多自由度样品杆，其特征在于：基板为PCB印制电路板，基板上具有陶瓷片区域和电极区域，压电陶瓷片堆叠粘接于陶瓷片区域，压电陶瓷片的两侧表面均匀涂敷导电涂层，为上层电极和下层电极；电极区域上有复数线路，线路与压电陶瓷片表面的导电涂层电连接。


3.如权利要求2所述的具有转轴驱动组件的多自由度样品杆，其特征在于：陶瓷片区域有一个压电陶瓷片，或者堆叠有至少两个压电陶瓷片，有至少两个压电陶瓷片时，压电陶瓷片的伸缩方向互不相同。


4.如权利要求3所述的具有转轴驱动组件的多自由度样品杆，其特征在于：基板上有凹台和一对安装孔，以安装孔作为基板的前后两端，陶瓷片区域和电极区域位于基板的中央，凹台位于基板的前后两端，在安装孔周围；陶瓷片区域和电极区域位于基板的左右两侧。


5.如权利要求4所述的具有转轴驱动组件的多自由度样品杆，其特征在于：最下层压电陶瓷片的下层电极与基板上的陶瓷片区域直接接触，通过陶瓷片区域上的线路连接到基板上的电极区域；最上层压电陶瓷片的上层电极表面具有A区域和B区域；驱动单元具有耐磨片，耐磨片粘贴于A区域；B区域与一根转接导线...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宏涛，张奕志，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33