成膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术在抑制加热炉内的喷雾的流速变化的同时改变加热炉内的喷雾的浓度。本发明专利技术提供一种成膜装置，其向基体的表面供给溶液的喷雾而使膜在所述基体的所述表面外延生长。该成膜装置具有：加热炉，其收容并加热所述基体；喷雾产生槽，其内部产生所述溶液的所述喷雾；喷雾供给路径，其连接所述喷雾产生槽和所述加热炉；载气供给路径，其向所述喷雾产生槽供给载气；稀释气供给路径，其向所述喷雾供给路径供给稀释气；以及气体流量控制装置，其控制所述载气的流量和所述稀释气的流量。所述气体流量控制装置在使所述载气的流量增加时，使所述稀释气的流量降低。

Film forming device

【技术实现步骤摘要】
成膜装置
本专利技术公开的技术涉及成膜装置。
技术介绍
专利文献1公开了一种成膜装置，其将溶液的喷雾向基体的表面供给，使膜在基体的表面外延生长。该成膜装置具有：加热炉，其收容并加热基体；喷雾产生槽，其在内部产生溶液的喷雾；喷雾供给路径，其连接喷雾产生槽和加热炉；载气供给路径，其向喷雾产生槽供给载气；以及稀释气供给路径，其向喷雾供给路径供给稀释气。如果向喷雾产生槽供给载气，则喷雾产生槽内的喷雾与载气一起流向喷雾供给路径。如果向喷雾供给路径供给稀释气，则喷雾供给路径内的喷雾与载气和稀释气一起流向加热炉。通过流入加热炉的喷雾附着在基体的表面上，从而膜在基体的表面外延生长。专利文献1：日本特开2017-162816号公报
技术实现思路
在专利文献1的成膜装置中，通过改变载气或稀释气的流量，能够改变向加热炉供给的喷雾的浓度。由此，能够改变膜的特性。然而，如果改变载气或稀释气的流量，则加热炉内的喷雾的流速会发生变化，喷雾的流速变化的影响导致膜的特性发生变化。因此，有时难以将膜的特性控制为所希望的特性。此外，如果要将喷雾的浓度控制本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种成膜装置，其向基体的表面供给溶液的喷雾而使膜在所述基体的所述表面外延生长，/n该成膜装置的特征在于，/n具有：加热炉，其收容并加热所述基板基体；/n喷雾产生槽，其内部产生所述溶液的所述喷雾；/n喷雾供给路径，其连接所述喷雾产生槽和所述加热炉；/n载气供给路径，其向所述喷雾产生槽供给载气；/n稀释气供给路径，其向所述喷雾供给路径供给稀释气；以及/n气体流量控制装置，其控制所述载气的流量和所述稀释气的流量，/n所述喷雾产生槽内的所述喷雾与所述载气一起流向所述喷雾供给路径，/n所述喷雾供给路径内的所述喷雾与所述载气和所述稀释气一起流向所述加热炉，/n所述气体流量控制装置在使所述载气的流量增加...

【技术特征摘要】
20181203 JP 2018-2267851.一种成膜装置，其向基体的表面供给溶液的喷雾而使膜在所述基体的所述表面外延生长，
该成膜装置的特征在于，
具有：加热炉，其收容并加热所述基板基体；
喷雾产生槽，其内部产生所述溶液的所述喷雾；
喷雾供给路径，其连接所述喷雾产生槽和所述加热炉；
载气供给路径，其向所述喷雾产生槽供给载气；
稀释气供给路径，其向所述喷雾供给路径供给稀释气；以及
气体流量控制装置，其控制所述载气的流量和所述稀释气的流量，
所述喷雾产生槽内的所述喷雾与所述载气一起流向所述喷雾供给路径，
所述喷雾供给路径内的所述喷雾与所述载气和所述稀释气一起流向所述加热炉，
所述气体流量控制装置在使所述载气的流量增加时，使所述稀释气的流量降低。


2.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，
所述气体流量控制装置在使所述载气的流量减少时，使所述稀释气的流量增加。

【专利技术属性】
技术研发人员：永冈达司，西中浩之，吉本昌广，
申请(专利权)人：丰田自动车株式会社，国立大学法人京都工芸纤维大学，
类型：发明
国别省市：日本;JP