一种低氧含量钼铌合金的制备方法技术

一种低氧含量钼铌合金的制备方法，包括：(1)铌粉体放置在包括含碳气体和惰性气体的环境中，在第一温度下反应第一时间，铌粉颗粒表面生成碳化铌层，得到碳化铌包覆铌粉体；(2)碳化铌包覆铌粉体与钼粉体混合，在第二温度下反应第二时间，得到钼铌合金。制备方法简单，有效除去了金属铌、金属钼烧结制备钼铌合金中的氧元素。产物中氧含量低，杂质含量小，得到了致密度高、氧含量低的钼铌合金。

A preparation method of Mo Nb alloy with low oxygen content

【技术实现步骤摘要】
一种低氧含量钼铌合金的制备方法
本申请属于合金靶材
，具体涉及一种低氧含量钼铌合金的制备方法。
技术介绍
难熔金属钼由于导电导热性能好、热膨胀系数低、耐腐蚀性好及低比阻抗等特性，被广泛用作平板显示器和薄膜太阳能电池的电极、配线材料以及半导体的阻挡层材料。在纯钼中添加铌元素可进一步改善其耐蚀性、比阻抗、膜应力等性能。随着电子行业的发展，钼铌合金靶材的市场需求也不断增长。目前，高性能钼铌合金靶材的制备存在一系列技术难题，其中最主要、最致命的问题就是钼铌合金中氧含量高，从而导致其致密度和纯度上不去，大大降低了其溅射使用性能。申请公布号为CN110257784A的中国专利申请公开了一种高致密度钼铌合金溅射靶材的制备工艺，具体采用氢化铌代替铌粉，因为氢化铌较脆，更容易球磨制得粒径更小的粉末，同时氢化铌在烧结时，受热分解，释放出氢气，坯体内存在少量的氢气，具有还原作用的氢气将钼铌合金中的含氧量降低，纯度提高。申请公布号为CN105648407A的中国专利申请公开了一种高致密度钼铌合金靶材及其制备工艺，具体公开了采用氢化锆的活化作用，采本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种低氧含量钼铌合金的制备方法，其特征在于，该制备方法包括：/n(1)铌粉体放置在包括含碳气体和惰性气体的环境中，在第一温度下反应第一时间，铌粉颗粒表面生成碳化铌层，得到碳化铌包覆铌粉体；/n(2)碳化铌包覆铌粉体与钼粉体混合，在第二温度下反应第二时间，得到钼铌合金。/n

【技术特征摘要】
1.一种低氧含量钼铌合金的制备方法，其特征在于，该制备方法包括：
(1)铌粉体放置在包括含碳气体和惰性气体的环境中，在第一温度下反应第一时间，铌粉颗粒表面生成碳化铌层，得到碳化铌包覆铌粉体；
(2)碳化铌包覆铌粉体与钼粉体混合，在第二温度下反应第二时间，得到钼铌合金。


2.根据权利要求1所述的低氧含量钼铌合金的制备方法，其特征在于，所述含碳气体包括甲烷、一氧化碳或乙炔。


3.根据权利要求1所述的低氧含量钼铌合金的制备方法，其特征在于，所述第一温度设定在600～1200℃，所述第一时间设定为90～270min。


4.根据权利要求1所述的低氧含量钼铌合金的制备方法，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴小超，杨凯军，李庆奎，郭茫茫，张静，李丽娜，何季麟，
申请(专利权)人：郑州大学，
类型：发明
国别省市：河南;41