【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸光学元件镀膜夹具和装夹方法
本专利技术涉及镀膜夹具及光学镀膜，特别是一种大尺寸光学元件镀膜夹具和装夹方法。
技术介绍
光学薄膜元件的波面质量会影响光学系统的光束质量，是光学薄膜元件的关键技术指标之一。光学薄膜元件波面质量取决于很多因素，其中，镀膜夹具是一个重要因素。目前常用的大尺寸光学薄膜元件的镀膜夹具一般包括两种，一种是从待镀膜大尺寸光学元件的侧面夹持元件，另一种是从待镀膜大尺寸光学元件的底部边缘支撑元件。从侧面夹持装夹的镀膜夹具能够实现大尺寸光学元件的全口径镀膜，但要求在大尺寸光学元件的侧面开槽，从而在一定程度上增加了光学元件冷加工的难度和成本，且有些光学元件受限于功能要求，不能对侧面进行开槽。此外，该种镀膜夹具也不适合侧面不垂直于工作面的光学元件。另一种从底部边缘支撑装夹的镀膜夹具虽无需对光学元件的侧面进行开槽，但由于金属材质镀膜夹具的热膨胀系数和光学元件的热膨胀系数不匹配，导致采用该种镀膜夹具的大尺寸光学薄膜元件的波面质量较差，难以满足大尺寸光学薄膜元件在通光口径范围内的波面质量要求。此外，现有的大...
【技术保护点】
1.一种大尺寸光学元件的镀膜夹具，其特征在于：所述的镀膜夹具包括框架结构和方形支撑结构，所述的方形支撑结构四边各由加强筋、缓冲条、支撑板、定位块和螺栓组成，所述的加强筋、缓冲条、支撑板和定位块设有多个螺栓通孔，所述的框架结构内侧面具有多个螺栓通孔和多个凹槽，所述的多个凹槽分别位于方形支撑结构其中一组对边的外侧，将所述的螺栓旋入四边的加强筋、缓冲条、支撑板和框架结构的螺栓通孔，用于支撑待镀膜的大尺寸光学元件，将所述的螺栓旋入定位块、缓冲条、支撑板和框架结构，对所述的待镀膜的大尺寸光学元件夹持定位，形成一个整体，所述的框架结构外框尺寸与镀膜夹具盘内框一致，正好放置于镀膜夹具盘中。/n
【技术特征摘要】
1.一种大尺寸光学元件的镀膜夹具，其特征在于：所述的镀膜夹具包括框架结构和方形支撑结构，所述的方形支撑结构四边各由加强筋、缓冲条、支撑板、定位块和螺栓组成，所述的加强筋、缓冲条、支撑板和定位块设有多个螺栓通孔，所述的框架结构内侧面具有多个螺栓通孔和多个凹槽，所述的多个凹槽分别位于方形支撑结构其中一组对边的外侧，将所述的螺栓旋入四边的加强筋、缓冲条、支撑板和框架结构的螺栓通孔，用于支撑待镀膜的大尺寸光学元件，将所述的螺栓旋入定位块、缓冲条、支撑板和框架结构，对所述的待镀膜的大尺寸光学元件夹持定位，形成一个整体，所述的框架结构外框尺寸与镀膜夹具盘内框一致，正好放置于镀膜夹具盘中。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸光学元件的镀膜夹具，其特征在于：所述的镀膜夹具可通过机械手对大尺寸光学元件进行装夹，所述框架结构内侧面的多个凹槽的尺寸大于所使用的机械手手爪的尺寸，所述多个凹槽的个数与所使用机械手的手爪个数相同，所述方形支撑结构其中一边外侧的多个凹槽之间的间隔...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱美萍，邵建达，李静平，孙建，赵娇玲，王建国，易葵，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。