一种干法刻蚀设备的上部电极及干法刻蚀设备制造技术

本发明专利技术公开了一种干法刻蚀设备的上部电极及干法刻蚀设备，包括上部电极主体和用于套合所述上部电极主体的辅助装置；所述上部电极主体包括母材，所述母材上设有多个第一通气孔；所述辅助装置包括基板，所述基板上设有第二通气孔；所述基板覆盖所述母材表面，所述第二通气孔向外延伸至所述第一通气孔内，所述基板表面及所述第二通气孔表面具有绝缘膜。本发明专利技术中通过在上部电极主体上套合辅助装置，在干法刻蚀过程中消耗辅助装置上的绝缘膜，而对上部电极主体的母材没有损耗，可以使上部电极主体上的通气孔的孔径保持长久的稳定形态，保证干法刻蚀工艺稳定，确保了上部电极主体的反复使用性，延长了上部电极的使用寿命。

Upper electrode and dry etching equipment of a dry etching equipment

【技术实现步骤摘要】
一种干法刻蚀设备的上部电极及干法刻蚀设备
本专利技术涉及了干刻蚀装备
，特别是涉及了一种干法刻蚀设备的上部电极及干法刻蚀设备。
技术介绍
在显示
，通常通过干法刻蚀工艺对玻璃基板进行刻蚀，以制作相应的图形。干法刻蚀是一种利用等离子体进行薄膜刻蚀的技术。现有技术中干法刻蚀设备包括：反应腔、位于反应腔内的上部电极和下部电极，所述下部电极用于载置待刻蚀的玻璃基板；在具体实施时，将待刻蚀的玻璃基置于下部电极上，反应腔内通入等离子气体，将反应腔密闭，为上部电极和下部电极施加电压，二者之间形成电势差，从而促使等离子体向玻璃基板运动，对玻璃基板进行刻蚀。上部电极是干法刻蚀设备的主要部件。现有技术中上部电极主要为铝基板加工很多通气孔，在铝基板表面和通气孔内进行阳极氧化形成氧化铝绝缘膜，达到绝缘阴极耐蚀效果。但本申请的专利技术人在实现本申请实施例的过程中，发现上述技术至少存在如下技术问题：上部电极上的通气孔的孔径一般在0.6-1.2mm，现在技术是消耗母材铝基板进行表面阳极处理，形成氧化铝绝缘膜。在干法刻蚀工艺过程中，该层氧化铝绝缘膜本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种干法刻蚀设备的上部电极，其特征在于，其包括上部电极主体和用于套合所述上部电极主体的辅助装置；所述上部电极主体包括母材，所述母材上设有多个第一通气孔；所述辅助装置包括基板，所述基板上设有与所述第一通气孔对应的第二通气孔；所述基板覆盖所述母材表面，所述第二通气孔向外延伸至所述第一通气孔内，所述基板表面及所述第二通气孔表面具有绝缘膜。/n

【技术特征摘要】
1.一种干法刻蚀设备的上部电极，其特征在于，其包括上部电极主体和用于套合所述上部电极主体的辅助装置；所述上部电极主体包括母材，所述母材上设有多个第一通气孔；所述辅助装置包括基板，所述基板上设有与所述第一通气孔对应的第二通气孔；所述基板覆盖所述母材表面，所述第二通气孔向外延伸至所述第一通气孔内，所述基板表面及所述第二通气孔表面具有绝缘膜。


2.如权利要求1所述的干法刻蚀设备的上部电极，其特征在于，所述辅助装置与所述上部电极主体可分离式设置。


3.如权利要求1所述的干法刻蚀设备的上部电极，其特征在于，所述基板与所述母材具有相同的形状。


4.如权利要求1所述的干法刻蚀设备的上部电极，其特征在于，所述辅助装置由绝缘...

【专利技术属性】
技术研发人员：王金宝，冷问竹，陈飞，李岩，
申请(专利权)人：信利仁寿高端显示科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51