高分辨激光输出功率变化量监测装置与方法制造方法及图纸

一种高分辨激光输出功率变化量监测装置与方法，包括斩波器、第一光电探测器、第二光电探测器、楔形片和锁相放大器。本发明专利技术利用光电探测器分别接收两束光并转换为电压信号后输入到所述的锁相放大器，并做差分运算后测量差值信号大小，另外所述的斩波器的同步信号输入锁相放大器作为参考信号。本发明专利技术可有效实现监测激光输出功率变化量，显著提高监测分辨率。

High resolution laser output power change monitoring device and method

【技术实现步骤摘要】
高分辨激光输出功率变化量监测装置与方法
本专利技术涉及激光输出功率变化量的测量，特别是一种高分辨激光输出功率变化量监测装置与方法
技术介绍
激光器功率变化监控系统在激光器应用安全中有着核心地位与应用价值，是激光器未来发展的重要方向。激光功率是高功率激光器中最主要的参量，激光输出功率严重地影响着激光加工的质量，因此，在加工过程中，如果能提高激光功率的测量精度，对于提高产品合格率有着极其重要的作用。传统的激光功率检测方法是将激光照射到激光功率计或激光能量计上进行检测。目前激光功率计的最小显示分辨率可达到1nW左右，激光能量计的最小显示分辨率可达到0.1nJ左右。然而只有在小量程时分辨率才能达到这个水平，当测量大功率激光时，激光功率计和激光能量计的分辨率就非常低了。以上检测方法在测量大功率激光时分辨率低，当光束功率有微小变化时，功率计有可能检测不到。因此，如何提高监测激光输出功率变化的分辨率是激光输出功率监测测试必须要解决的关键性问题之一。
技术实现思路
为解决监测激光输出功率变化时出现的上述问题，本专利技术提出一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高分辨激光输出功率变化量监测装置，其特征在于，包括斩波器(1)、第一光电探测器(2)、第二光电探测器(3)、楔形片(4)和锁相放大器(5)，沿激光输出方向依次是所述的斩波器(1)和楔形片(4)，在所述的楔形片(4)的前表面的反射光方向设置所述的第一光电探测器(2)，在所述的楔形片(4)的后表面的反射光方向设置所述的第二光电探测器(3)，所述的第一光电探测器(2)的输出端与所述的锁相放大器(5)的第一输入端(5-1)相连，所述的第二光电探测器(3)的输出端与所述的锁相放大器(5)的第二输入端(5-2)相连，所述的斩波器(1)的同步信号输出端与所述的锁相放大器(5)的参考信号输入端(5-3...

【技术特征摘要】
1.一种高分辨激光输出功率变化量监测装置，其特征在于，包括斩波器(1)、第一光电探测器(2)、第二光电探测器(3)、楔形片(4)和锁相放大器(5)，沿激光输出方向依次是所述的斩波器(1)和楔形片(4)，在所述的楔形片(4)的前表面的反射光方向设置所述的第一光电探测器(2)，在所述的楔形片(4)的后表面的反射光方向设置所述的第二光电探测器(3)，所述的第一光电探测器(2)的输出端与所述的锁相放大器(5)的第一输入端(5-1)相连，所述的第二光电探测器(3)的输出端与所述的锁相放大器(5)的第二输入端(5-2)相连，所述的斩波器(1)的同步信号输出端与所述的锁相放大器(5)的参考信号输入端(5-3)相连。


2.利用权利要求1所述的高分辨激光输出功率变化量监测装置对激光输出功率变化量的测量方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：
1)在锁相放大器(5)的“SIGNALINPUT”区域按“...

【专利技术属性】
技术研发人员：李大伟，胡晨璐，刘晓凤，赵元安，连亚飞，朱美萍，易葵，邵建达，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31