一种双探针的纳米测量仪器制造技术

本发明专利技术公开了一种双探针的纳米测量仪器，包括测量器主体；所述测量器主体的前端设有第一探针、第二探针；所述第一探针用于探测外部环境干扰下的被测物体的信号；所述第二探针用于探测被测物体的附近环境的干扰信号；本发明专利技术的有益效果在于：本设计采用了双探针，一个探针探测外部环境干扰下的被测物体的信号，另一个探测被测物体的附近环境的干扰信号，通过计算出两个信号数值，最后两个数值相减，得到的数值就是被测物体的数值；让纳米测量系统省去了传统的封闭坏镜设备，且能够测量大型的被测物体。

A nano measuring instrument with two probes

【技术实现步骤摘要】
一种双探针的纳米测量仪器
本专利技术涉及纳米测量系统
，特别涉及一种双探针的纳米测量仪器。
技术介绍
纳米测量技术是纳米科学技术的基础科学之一。纳米科学技术的快速发展，给纳米测量技术提供全新的发展机遇。在工业生产中，常要测量一些工业产品生产制造过程中的关键参量，其量级都是纳米级大小，例如LED显示器的玻璃背板，通过测量LED显示器的背板的纳米级关键参量，判断出LED显示器质量；现有的纳米测量系统，其工作原理如图8,通过扫描驱动带动探针探测被测物体的表面，探针的尖端直径约为纳米尺度量级，扫描被测物体表面时，由于被测物体表面在纳米尺度是凹凸不平的，必然引起探针极微小震动，此时光源发射器发射光束在探针上，再反射到光学传感器上，形成反光信号，再经过计算就得出纳米级信号数值；但是在微观环境下，任何一点嘈杂的声音都会引起物体极微小的震动，所以理论上纳米测量系统所测量到被测物体的信号是如图9下方的真实信号；但现实只能测量到如图9上方的探测信号，该信号是被环境干扰下的被测物体的信号。环境干扰可以是噪音干扰，或地表运动干扰；于是，工程人员通过制造一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双探针的纳米测量仪器，包括测量器主体(10)；其特征在于，所述测量器主体(10)的前端设有第一探针(11)、第二探针(12)；所述第一探针(11)用于探测外部环境干扰下的被测物体的信号；所述第二探针(12)用于探测被测物体附近环境的干扰信号。/n

【技术特征摘要】
1.一种双探针的纳米测量仪器，包括测量器主体(10)；其特征在于，所述测量器主体(10)的前端设有第一探针(11)、第二探针(12)；所述第一探针(11)用于探测外部环境干扰下的被测物体的信号；所述第二探针(12)用于探测被测物体附近环境的干扰信号。


2.根据权利要求1所述一种双探针的纳米测量仪器，其特征在于，所述第一探针(11)设有第一针尖(111)、第一物理解码(112)；所述第二探针(12)设有第二针尖(121)、第二物理解码(122)。


3.根据权利要求2所述一种双探针的纳米测量仪器，其特征在于，所述第一针尖(111)的尖端曲率半径为纳米尺度量级，所述第二针尖(121)的尖端曲率半径比第一针尖(111)的尖端曲率半径要大，且所述第二针尖(121)的尖端曲率半径为1微米以上。


4.根据权利要求3所述一种双探针的纳米测量仪器，其特征在于，所述第一物理解码(112)为一排可用于反射...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏全民，陈庚亮，
申请(专利权)人：深圳明锐仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44