【技术实现步骤摘要】
一种柔性联动往复泵
本专利技术属于泵
，涉及一种柔性联动往复泵。
技术介绍
在半导体制造、高纯化工以及生物医药等领域中，有很多场合需要使用高纯度流体。作为一种流体动力源，往复泵由于其产生污染少的特点，在高纯流体系统中具有广泛应用。往复泵的基本原理是通过改变柔性泵腔的容积的办法将流体从管道中吸入泵腔或者从泵腔中挤入管道，从而产生周期性的流体驱动力。由于产生动力的方式来自于泵腔的形变，不会产生滑动摩擦，所以不会因为摩擦产生污染颗粒物，也不会因为滑动运动副的存在导致污染物从滑动间隙中迁移进入泵腔中，显著减少了污染物的来源，是一种特别适用于高纯流体系统中的流体部件。在常规的往复泵中，泵壳开口侧固定设置在泵头两端，泵壳与泵头之间形成工作腔；波纹管以开口侧固定设置在泵头两端的方式设置在工作腔中，与泵头之间形成泵腔；由泵轴通过连接杆将两端的波纹管等活动分隔部件刚性连接。通过向一对工作腔交替导入压缩空气，使得一对波纹管交替压缩和伸长，从而达到往复泵送流体的目的。这种往复泵两端的波纹管连接是刚性的，所以它们的工序切换将同步进行，...
【技术保护点】
1.一种柔性联动往复泵，其特征在于：包括泵头、泵壳、波纹管、泵轴、柔性伸缩组件、连接板、排液阀、吸液阀和致动组件；泵头两侧面固定设置有一对泵壳开口侧，泵壳与泵头之间形成工作腔；工作腔中均固定设置有一对波纹管，波纹管一端固定在泵头侧壁，波纹管另一端设置有法兰板，波纹管、法兰板与泵头之间形成泵腔；泵头中轴线设置有吸液流道和排液流道，吸液流道和排液流道中部隔断；吸液流道入口作为吸液口，排液流道出口作为排液口；吸液流道顶部设置一对吸液阀，排液流道底部设置一对排液阀；吸液阀和排液阀均位于泵腔内；致动组件设置在法兰板上，泵腔外；致动组件压缩/拉伸波纹管，将转运流体从泵腔内排出/吸入；所...
【技术特征摘要】
1.一种柔性联动往复泵，其特征在于：包括泵头、泵壳、波纹管、泵轴、柔性伸缩组件、连接板、排液阀、吸液阀和致动组件；泵头两侧面固定设置有一对泵壳开口侧，泵壳与泵头之间形成工作腔；工作腔中均固定设置有一对波纹管，波纹管一端固定在泵头侧壁，波纹管另一端设置有法兰板，波纹管、法兰板与泵头之间形成泵腔；泵头中轴线设置有吸液流道和排液流道，吸液流道和排液流道中部隔断；吸液流道入口作为吸液口，排液流道出口作为排液口；吸液流道顶部设置一对吸液阀，排液流道底部设置一对排液阀；吸液阀和排液阀均位于泵腔内；致动组件设置在法兰板上，泵腔外；致动组件压缩/拉伸波纹管，将转运流体从泵腔内排出/吸入；所述的致动组件一对泵轴的两端分别由所述连接板连接在一起，连接板经由可沿轴向自由伸缩的柔性伸缩组件与所述一对波纹管外端面连接；
在所述柔性联动往复泵进行连续泵送流体的过程中，保持至少一个波纹管处于持续压缩过程中。
2.根据权利要求1所述的一种柔性联动往复泵，其特征在于：还包括一对位移传感器和控制器，一对位移传感器分别测量所述一对泵壳到对应一侧连接板之间的距离并传送至控制器，控制器控制致动组件压缩或拉伸所述波纹管。
3.根据权利要求1或2所述的一种柔性联动往复泵，其特征在于：所述波纹管完成一个压缩...
【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：浙江启尔机电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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