液体供给装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种结构简单且维护保养性优异的液体供给装置。液体供给装置(10)具有一体式的泵套(13)，该泵套形成有与第一吸入流路(25)及第一排出流路(26)连通的第一泵室(23)和与第二吸入流路(27)及第二排出流路(28)连通的第二泵室(24)，第一泵(18)进行第一泵室(23)的吸入动作和排出动作，第二泵(19)进行第二泵室(24)的吸入动作和排出动作。在泵套(13)的外侧设置的流路开闭电磁阀(33)，在第二泵(19)进行吸入动作而第一泵(18)进行排出动作时使第一排出流路(26)与第二吸入流路(27)连通，将液体向第二排出流路(28)引导。

【技术实现步骤摘要】
液体供给装置
本技术涉及一种供给液态树脂等液体的液体供给装置。
技术介绍
为了供给液体，液体供给装置具有泵，该泵具有泵室，该泵室收缩来进行排出动作，该泵室膨胀来进行吸入动作。专利文献1中记载有如下的液体供给装置：具有初级泵和与该初级泵串联连接的次级泵，用于供给液态光致抗蚀剂等液体。专利文献2中记载着具有第一泵和与该泵串联连接的第二泵的液体层析用泵。专利文献1中记载的液体供给装置，在初级泵的排出口与次级泵的流入口之间连接有连通流路，在连通流路上设置有单向阀。单向阀在初级泵的排出动作时允许液体从初级泵向次级泵流动，在初级泵的吸入动作时阻止液体向初级泵逆流。专利文献2中记载的泵，具有形成了两个汽缸的泵主体，构成各个泵的柱塞(Plunger)以往复运动自如的方式设置在各个汽缸中。在第一泵与第二泵之间的流路上设置有单向阀，该单向阀具有与专利文献1中的单向阀同样的功能。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-1663号公报；专利文献2：日本特开2004-150402号公报。如专利文献本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液体供给装置，其中，具有：/n一体式的泵套，形成有：第一泵室，该第一泵室与第一吸入流路及第一排出流路连通；第二泵室，该第二泵室与第二吸入流路及第二排出流路连通；和阀安装面，所述第一排出流路以及所述第二吸入流路在该阀安装面上开口；/n第一泵，进行将液体从所述第一吸入流路吸入到所述第一泵室的吸入动作、以及将液体从所述第一泵室向所述第一排出流路排出的排出动作；/n第二泵，进行将液体从所述第二吸入流路吸入到所述第二泵室的吸入动作、以及将液体从所述第二泵室向所述第二排出流路排出的排出动作；和/n安装在所述阀安装面上的流路开闭阀，该流路开闭阀设置在所述泵套的外侧，具有将所述第一排出流路与所述第二吸...

【技术特征摘要】
20180628 JP 2018-1233661.一种液体供给装置，其中，具有：
一体式的泵套，形成有：第一泵室，该第一泵室与第一吸入流路及第一排出流路连通；第二泵室，该第二泵室与第二吸入流路及第二排出流路连通；和阀安装面，所述第一排出流路以及所述第二吸入流路在该阀安装面上开口；
第一泵，进行将液体从所述第一吸入流路吸入到所述第一泵室的吸入动作、以及将液体从所述第一泵室向所述第一排出流路排出的排出动作；
第二泵，进行将液体从所述第二吸入流路吸入到所述第二泵室的吸入动作、以及将液体从所述第二泵室向所述第二排出流路排出的排出动作；和
安装在所述阀安装面上的流路开闭阀，该流路开闭阀设置在所述泵套的外侧，具有将所述第一排出流路与所述第二吸入流路的连通切断的关闭状态和使所述第一排出流路与所述第二吸入流路连通的开放状态，该流路开闭阀具有根据来自外部的控制信号而切换开放状态和关闭状态的阀驱动部，
所述流路开闭阀在所述第一泵进行吸入动作而所述第二泵进行排出动作时成为所述关闭状态，在所述第二泵进行吸入动作而所述第一泵进行排出动作时成为所述开放状态，将液体引导到所述第二排出流路。


2.如权利要求1所述的液体供给装置，其中，
所述流路开闭阀是电磁阀。


3.如权利要求1所述的液体供给装置，其中，
具有吸入控制阀，该吸入控制阀在所述第一泵进行吸入动作时，将容纳在液体容器中的液体向所述第一泵室引导，在所述第一泵进行排出动作时，阻止液体向所述液体容器逆流。


4.如权利要求3所述的液体供给装置，其中，
在所述第二排出流路设置有排出控制阀。


5.如权利要求4所述的液体供给装置，其中，
所述吸入控制阀和所述排出控制阀中的至少一个是单向阀。


6.如权利要求4所述的液体供给装置，其中，
所述吸入控制阀和所述排出控制阀中的至少一个是电磁阀。


7.如权利要求6所述的液体供给装置，其中，
具有吸入侧的流路口挡块，该吸入侧的流路口...

【专利技术属性】
技术研发人员：村冈裕之，
申请(专利权)人：株式会社小金井，
类型：新型
国别省市：日本;JP