一种Y轴导轨水平布置的双轴双龙门结构划片机制造技术

本发明专利技术涉及一种Y轴导轨水平布置的双轴双龙门结构划片机，包括基座，基座上设有X轴模组，X轴模组上安装有R轴组件，位于X轴模组两侧的基座上设有双龙门架，双龙门架的两横梁顶部沿Y轴设有两Y轴模组，所述两Y轴模组关于X轴模组对称设置，每个Y轴模组上安装有Z轴模组，Z轴模组的下部设有伸入双龙门架之间间隔处、位于所述R轴组件上的主轴组件，两主轴组件、两Z轴模组均关于X轴模组对称。本发明专利技术采用对称式双模组结构，提高结构稳定性，降低热应力变形影响，提高了定位和加工精度，同时大大提高了切割效率，节约成本。

A kind of double axis double dragon gate structure dicing machine with Y-axis guide rail horizontally arranged

【技术实现步骤摘要】
一种Y轴导轨水平布置的双轴双龙门结构划片机
本专利技术涉及龙门式划片机
，尤其是一种Y轴导轨水平布置的双轴双龙门结构划片机。
技术介绍
现有砂轮划片机的结构形式，分为悬臂式和龙门式两种不同的设计。加工小尺寸工件比如4～6寸晶片的设备多为悬臂式，其主轴是悬伸于转台之上的；而加工8寸以上大尺寸工件的设备多为龙门式，其Y轴通过固定的龙门架跨于X轴之上，避免了主轴悬伸于转台之上的情况，因而比悬臂式具有更高的刚度和结构稳定性。现有的龙门结构划片机中分为单轴和双轴两种，双轴画片机具有更高的效率，双轴切割时可以平衡切割应力，更好的控制崩边。固定在龙门架上的Y轴导轨布局是两根导轨平行布局在龙门架的侧面，采用侧装悬挂的结构方案由于Y轴导轨组件是侧向安装，重心倾向于一侧，结构受力完全是侧向受力，影响结构刚度，结构受力不平衡。由于划片机很多应用场合需要较高精度，如硅晶圆的切割要求200mm行程内定位精度在2um以内，结构强度，零件变形，震动，热影响等因素都会硬想设备系统的精度，此类结构由于结构受力不平衡，易发生变形，震动等产生精度不稳定的风险；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种Y轴导轨水平布置的双轴双龙门结构划片机，其特征在于：包括基座(1)，基座(1)上设有X轴模组(2)，X轴模组(2)上安装有R轴组件(4)，位于X轴模组(2)两侧的基座(1)上设有双龙门架(7)，双龙门架(7)的顶部两横梁上沿Y轴设有两Y轴模组(3)，所述两Y轴模组(3)关于X轴模组(2)对称设置，每个Y轴模组(3)上安装有Z轴模组(6)，Z轴模组(6)的下部设有伸入双龙门架(7)两横梁之间间隔处、位于所述R轴组件(4)上的主轴组件(5)，两主轴组件(5)、两Z轴模组(6)均关于X轴模组(2)对称。/n

【技术特征摘要】
1.一种Y轴导轨水平布置的双轴双龙门结构划片机，其特征在于：包括基座(1)，基座(1)上设有X轴模组(2)，X轴模组(2)上安装有R轴组件(4)，位于X轴模组(2)两侧的基座(1)上设有双龙门架(7)，双龙门架(7)的顶部两横梁上沿Y轴设有两Y轴模组(3)，所述两Y轴模组(3)关于X轴模组(2)对称设置，每个Y轴模组(3)上安装有Z轴模组(6)，Z轴模组(6)的下部设有伸入双龙门架(7)两横梁之间间隔处、位于所述R轴组件(4)上的主轴组件(5)，两主轴组件(5)、两Z轴模组(6)均关于X轴模组(2)对称。


2.如权利要求1所述的Y轴导轨水平布置的双轴双龙门结构划片机，其特征在于：两Y轴模组(3)的安装结构为：包括分别设于两横梁顶部的两Y轴导轨(302)，两Y轴导轨(302)上分别通过滑块组件滑动安装有两Y轴滑台(303)，每个Y轴滑台(303)的顶面上通过Z向支架(602)安装所述Z轴模组(6)，其结构为：包括沿Z轴平行间隔设于所述Z向支架(602)侧面的两Z向导轨(604)，两Z向导轨(604)上通过滑块组件滑动安装有Z轴滑台(601)，所述Z轴滑台(601)底部沿Y轴延伸有横向折弯部，其底面上通过主轴连接座(501)安装有切割主轴(502)。


3.如权利要求2所述的Y轴导轨水平布置的双轴双龙门结构划片机，其特征在于：位于其中一侧横梁的顶部安装两对称设置的Y轴丝杆(310)，每个Y轴丝杆(310)一端与Y轴电机(304...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱晔，陈旻皓，
申请(专利权)人：无锡立朵科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32