【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及划片机,具体涉及一种砂轮划片机的气浮主轴。
技术介绍
1、划片切割机是通过安装在气浮主轴刀盘上的砂轮薄片对物体进行精密划槽、切割。刀盘在气浮主轴上的安装精度和性能及喷水结构对划片切割机的划槽、切割质量影响很大,尤其是晶圆、硅片、led原件等超精密划切的电子、光学元器件。
2、现有技术中的气浮主轴的芯轴和外壳之间通过斜向的气浮轴承进行转动连接,单个轴承需要承担芯轴在高速转动时的径向和轴向压力,使得轴承容易出现过载损坏,导致气浮主轴损坏。
3、因此,如何提供一种砂轮划片机的气浮主轴,以解决现有技术所存在的问题,对其应用具有重要意义。
技术实现思路
1、有鉴于此,本申请的目的在于提供一种砂轮划片机的气浮主轴,以解决现有技术中的气浮主轴的芯轴和外壳之间通过斜向的气浮轴承进行转动连接,单个轴承需要承担芯轴在高速转动时的径向和轴向压力,使得轴承容易出现过载损坏,导致气浮主轴损坏问题。
2、为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:
3、一
...【技术保护点】
1.一种砂轮划片机的气浮主轴,其特征在于:包括主轴芯轴(1)和外壳(9),所述主轴芯轴(1)的中部安装有电机定子(4),所述外壳(9)的内部的安装有径向气浮轴承一(3)和径向气浮轴承二(8),所述主轴芯轴(1)通过径向气浮轴承一(3)和径向气浮轴承二(8)与外壳(9)转动连接,所述主轴芯轴(1)的两端通过推力气浮轴承一(2)和过推力气浮轴承二(7)与外壳(9)转动连接,所述主轴芯轴(1)的两端分别固定连接有输出端头一(5)和输出端头二(6)。
2.如权利要求1所述的一种砂轮划片机的气浮主轴,其特征在于:所述外壳(9)的顶端开设有主气道(10)、第一支气道(
...【技术特征摘要】
1.一种砂轮划片机的气浮主轴,其特征在于:包括主轴芯轴(1)和外壳(9),所述主轴芯轴(1)的中部安装有电机定子(4),所述外壳(9)的内部的安装有径向气浮轴承一(3)和径向气浮轴承二(8),所述主轴芯轴(1)通过径向气浮轴承一(3)和径向气浮轴承二(8)与外壳(9)转动连接,所述主轴芯轴(1)的两端通过推力气浮轴承一(2)和过推力气浮轴承二(7)与外壳(9)转动连接,所述主轴芯轴(1)的两端分别固定连接有输出端头一(5)和输出端头二(6)。
2.如权利要求1所述的一种砂轮划片机的气浮主轴,其特征在于:所述外壳(9)的顶端开设有主气道(10)、第一支气道...
【专利技术属性】
技术研发人员:王启人,
申请(专利权)人:无锡立朵科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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