一种紫外355nm激光发生器制造技术

本申请提供一种紫外355nm激光发生器，包括矫正器、二倍频LBO晶体及三倍频LBO晶体；矫正器包括第一上底面、第一下底面、第一直角面及第一倾斜面，第一倾斜面与第一下底面的夹角为布鲁斯特角；二倍频LBO晶体为矩形结构；三倍频LBO晶体包括第二上底面、第二下底面、第二直角面及第二倾斜面，第二倾斜面与第二下底面的夹角为布鲁斯特角；第一倾斜面与第二倾斜面平行设置，第一倾斜面为初始激光进入发生器的入射面，第二倾斜面为初始激光离开发生器的出射面。本申请的有益效果是：初始激光由带有布鲁斯特角的第一倾斜面入射并由带有布鲁斯特角的第二倾斜面出射可以使得产生的355nm激光的光斑为圆形。

A 355nm UV laser generator

【技术实现步骤摘要】
一种紫外355nm激光发生器
本公开涉及紫外355nm激光发生
，具体涉及一种紫外355nm激光发生器。
技术介绍
355nm紫外激光器(包括连续/纳秒/皮秒/飞秒355nm激光器)是目前精细激光加工市场的广泛使用的激光器，并且是目前激光市场应用范围最广和关注度最高的一种激光器，其广泛用于激光打标、柔性材料切割、OLED屏切割等新型材料生产与制造中。产生355nm激光的技术是基于1064nm激光器，采用三倍频频率变换技术产生355nm的激光。同时，影响激光加工效果的一个重要指标是激光光斑的圆度，有些激光的光斑是椭圆的，对材料的加工效果就会降低。目前实现三倍频这个功能所采用的最多的器件是LBO晶体(三硼酸锂晶体，Lithiumtriborate)，经三倍频LBO晶体产生的355nm光斑形状为椭圆形。为调整355nm的椭圆形光斑的办法是在LBO晶体产生355nm椭圆光斑之后，对光斑使用多个柱面镜将椭圆光斑重新矫正成圆形光斑，形式比较复杂，并且只能在激光束传播的一定范围内实现圆形光斑。
技术实现思路
本申请的目的是针对以上问题，提供一种紫外355nm激光发生器。第一方面，本申请提供一种紫外355nm激光发生器，包括矫正器、二倍频LBO晶体及三倍频LBO晶体；所述矫正器为直角梯形结构，包括第一上底面、第一下底面、第一直角面及第一倾斜面，所述第一倾斜面与第一下底面的夹角为布鲁斯特角；所述二倍频LBO晶体为矩形结构；所述三倍频LBO晶体为直角梯形结构，包括第二上底面、第二下底面、第二直角面及第二倾斜面，所述第二倾斜面与第二下底面的夹角为布鲁斯特角；所述矫正器、二倍频LBO晶体及三倍频LBO晶体距离初始激光由近及远依次设置，所述初始激光为带有圆形光斑的波长为1064nm的激光，所述第一倾斜面与第二倾斜面平行设置，所述第一倾斜面为所述初始激光进入所述发生器的入射面，所述第二倾斜面为所述初始激光离开所述发生器的出射面。根据本申请实施例提供的技术方案，所述矫正器材质为F2玻璃。本专利技术的有益效果：本申请提供一种紫外355nm激光发生器，包括矫正器、二倍频LBO晶体及三倍频LBO晶体；所述矫正器为直角梯形结构，包括第一上底面、第一下底面、第一直角面及第一倾斜面，所述第一倾斜面与第一下底面的夹角为布鲁斯特角；所述二倍频LBO晶体为矩形结构；所述三倍频LBO晶体为直角梯形结构，包括第二上底面、第二下底面、第二直角面及第二倾斜面，所述第二倾斜面与第二下底面的夹角为布鲁斯特角；所述矫正器、二倍频LBO晶体及三倍频LBO晶体距离初始激光由近及远依次设置，所述初始激光为带有圆形光斑的波长为1064nm的激光，所述第一倾斜面与第二倾斜面平行设置，所述第一倾斜面为所述初始激光进入所述发生器的入射面，所述第二倾斜面为所述初始激光离开所述发生器的出射面。1064nm的初始激光由带有布鲁斯特角的第一倾斜面入射矫正器后发生折射形成带有椭圆形光斑的1064nm激光、经过二倍频LBO晶体后形成带有椭圆形光斑的532nm激光、经过三倍频LBO晶体由带有布鲁斯特角的第二倾斜面出射后形成带有圆形光斑的355nm激光，使用矫正器模块对355nm的光斑圆度进行调整使用方便、易于安装、价格低廉、降低了生产成本。附图说明图1为本申请第一种实施例的结构原理示意图；图2为现有技术中355nm激光产生的结构原理示意图；图中所述文字标注表示为：100、矫正器；110、第一上底面；120、第一下底面；130、第一直角面；140、第一倾斜面；200、二倍频LBO晶体；300、三倍频LBO晶体；310、第二上底面；320、第二下底面；330、第二直角面；340、第二倾斜面；400、初始激光；500、355nm激光。具体实施方式为了使本领域技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图对本申请进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本申请的保护范围有任何的限制作用。如图1所示为本申请的第一种实施例的示意图，包括矫正器100、二倍频LBO晶体200及三倍频LBO晶体300；所述矫正器100为直角梯形结构，包括第一上底面110、第一下底面120、第一直角面130及第一倾斜面140，所述第一倾斜面140与第一下底面120的夹角为布鲁斯特角；所述二倍频LBO晶体200为矩形结构；所述三倍频LBO晶体300为直角梯形结构，包括第二上底面310、第二下底面320、第二直角面330及第二倾斜面340，所述第二倾斜面340与第二下底面320的夹角为布鲁斯特角。所述矫正器100、二倍频LBO晶体200及三倍频LBO晶体300距离初始激光400由近及远依次设置，所述初始激光400为带有圆形光斑的波长为1064nm的激光，所述第一倾斜面140与第二倾斜面340平行设置，所述第一倾斜面140为所述初始激光400进入所述发生器的入射面，所述第二倾斜面340为所述初始激光400离开所述发生器的出射面。本实施例中所述矫正器100材质为F2玻璃。本实施例中，LBO晶体是指三硼酸锂晶体，波长为1064nm的带有圆形光斑的初始激光400入射到矫正器100的第一倾斜面140上，使得初始激光400在第一倾斜面140发生折射，从而改变了初始激光400的光斑形状，使得经过矫正器100后1064nm圆形光斑的激光变为1064nm椭圆形光斑的激光，并由第一直角面130以90°出射角的方式出射，1064nm椭圆形光斑的激光以90°入射角的方式射入二倍频LBO晶体200，在二倍频LBO晶体200内发生二倍倍频后形成532nm椭圆形光斑激光并以90°出射角的方式出射，532nm椭圆形光斑激光以90°入射角的方式射入三倍频LBO晶体300，在三倍频LBO晶体300内发生三倍倍频后形成355nm椭圆形光斑激光，由第二倾斜面340上最终射出时出射的355nm椭圆形光斑激光在带有布鲁斯特角的第二倾斜面340上发生折射改变了光斑形状，最终形成带有圆形光斑的355nm激光500。如图2所示，为现有技术中形成的355nm激光500的光斑为椭圆形的原理。本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想。以上所述仅是本申请的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将申请的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均应视为本申请的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种紫外355nm激光发生器，其特征在于，包括矫正器、二倍频LBO晶体及三倍频LBO晶体；所述矫正器为直角梯形结构，包括第一上底面、第一下底面、第一直角面及第一倾斜面，所述第一倾斜面与第一下底面的夹角为布鲁斯特角；所述二倍频LBO晶体为矩形结构；所述三倍频LBO晶体为直角梯形结构，包括第二上底面、第二下底面、第二直角面及第二倾斜面，所述第二倾斜面与第二下底面的夹角为布鲁斯特角；/n所述矫正器、二倍频LBO晶体及三倍频LBO晶体距离初始激光由近及远依次设置，所述初始激光为带有圆形光斑的波长为1064nm的激光，所述第一倾斜面与第二倾斜面平行设置，所述第一倾斜面为所述初始激光进入所述发生器的入射面，所述第二倾斜面为所述初始激光离开所述发生器的出射面。/n

【技术特征摘要】
1.一种紫外355nm激光发生器，其特征在于，包括矫正器、二倍频LBO晶体及三倍频LBO晶体；所述矫正器为直角梯形结构，包括第一上底面、第一下底面、第一直角面及第一倾斜面，所述第一倾斜面与第一下底面的夹角为布鲁斯特角；所述二倍频LBO晶体为矩形结构；所述三倍频LBO晶体为直角梯形结构，包括第二上底面、第二下底面、第二直角面及第二倾斜面，所述第二倾斜面与第二下底面的夹角为布鲁斯特角；<...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵璞，
申请(专利权)人：天津凯普林激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12