激光折射镜罩子制造技术

本实用新型专利技术提供一种激光折射镜罩子，激光折射镜罩子包括底板、环形侧板、激光进口、激光出口及压缩气进口；其中，环形侧板位于底板上，且环形侧板与底板形成容纳腔；激光进口、激光出口及压缩气进口位于环形侧板上，且激光进口、容纳腔与激光出口相连通，压缩气进口与容纳腔相连通。本实用新型专利技术的激光折射镜罩子，通过激光折射镜罩子与机器的全面覆盖设计，可提高折射镜的镜面洁净度，降低激光功率的衰减，延长光刷组件的使用寿命；进一步的，可通过压缩气进口向容纳腔持续的进行压缩气充气，以形成正压，可更好的避免污染物进入容纳腔，以进一步的提高折射镜的镜面洁净度。

Laser refractor cover

【技术实现步骤摘要】
激光折射镜罩子
本技术属于半导体设备领域，涉及一种激光折射镜罩子。
技术介绍
集成电路制造中利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术称为光刻技术，光刻技术成为一种精密的微细加工技术。随着半导体技术的发展，光刻技术已从常规光学技术发展到应用电子束、X射线、微离子束、激光等新技术。在激光光刻机器上设有光刷组件，光刷组件的功能是把激光源提供的一束激光通过折射镜折射成多束激光，并以声控模式进行调整和控制激光光束传输，决定激光光束是否进入光刻所使用的光路上。如在CORE激光光刻机器上，对激光光束的折射是通过折射镜组进行的，折射镜组由具有特设位置的三面折射镜构成，通过这三面折射镜可把一束激光折射成八束激光。在激光光刻机器的使用过程中，折射镜的镜面需保持洁净，如果折射镜的镜面有污染物存在，且污染物正好被激光击中，则激光的热量会把污染物焚化，且焚化后会在折射镜的镜面上留下烧焦痕迹，这种痕迹会导致激光功率下降，且会降低光刷组件的使用寿命，如一般光刷组件的使用寿命大概是24个月以上，环境好的情况下可维持36个月，环境如果存在污染物较多的情况下，会让光刷组件的使用寿命出现异常的降低，如使用寿命降低至9个月～10个月。因此，提供一种激光折射镜罩子，以对折射镜进行保护，提高折射镜的镜面洁净度，降低激光功率的衰减，延长光刷组件的使用寿命，实属必要。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种激光折射镜罩子，用于解决现有技术中由于使用环境中污染物所造成的激光折射镜的镜面污染，使得激光功率衰减、光刷组件使用寿命降低的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种激光折射镜罩子，所述激光折射镜罩子包括：底板；环形侧板，所述环形侧板位于所述底板上，且所述环形侧板与所述底板形成容纳腔；激光进口，所述激光进口位于所述环形侧板上；激光出口，所述激光出口位于所述环形侧板上，且所述激光进口、所述容纳腔与所述激光出口相连通；压缩气进口，所述压缩气进口位于所述环形侧板上，且所述压缩气进口与所述容纳腔相连通可选地，所述环形侧板的边缘包围所述底板的边缘。可选地，所述底板与所述环形侧板的连接方式包括一体连接、焊接、螺纹连接、销连接及卡扣连接中的一种。可选地，所述压缩气进口与气体压缩机相连接，且所述压缩气进口与所述气体压缩机之间连接有控制阀。可选地，所述控制阀包括贺尔碧格PFI阀；所述贺尔碧格PFI阀包括2.5寸贺尔碧格PFI阀。可选地，所述底板的长度的范围包括50mm～80mm；所述底板的宽度的范围包括20mm～50mm；所述环形侧板的高度的范围包括10mm～40mm。可选地，所述底板包括表面黑色砂氧化处理的AL6061底板；所述环形侧板包括表面黑色砂氧化处理的AL6061环形侧板。可选地，所述环形侧板所围成的形貌包括圆形及多边形中的一种或组合。可选地，所述环形侧板上设置有连接孔，以通过所述连接孔固定连接所述激光折射镜罩子。可选地，上述激光折射镜罩子包括用于CORE激光光刻机器上的激光折射镜罩子。如上所述，本技术的激光折射镜罩子，通过环形侧板与底板形成容纳折射镜的容纳腔，且在环形侧板上设计激光进口及激光出口，从而在确保激光进入及射出的前提下，实现激光折射镜罩子与机器的全面覆盖设计，提高折射镜的镜面洁净度，降低激光功率的衰减，延长光刷组件的使用寿命；进一步的，在环形侧板上设计压缩气进口，以通过压缩气进口向容纳腔持续的进行压缩气充气，以形成正压，可更好的避免污染物进入容纳腔，以进一步的提高折射镜的镜面洁净度。附图说明图1显示为本技术中的激光折射镜罩子的立体结构示意图。图2显示为图1中的沿A-A’截面形成的展开结构示意图。图3显示为图1中的俯视结构示意图。图4显示为图1中的正视结构示意图。元件标号说明100激光折射镜罩子110底板120环形侧板130容纳腔140激光进口150激光出口160压缩气进口170连接孔具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请参阅图1至图4。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。如图1所示，本技术提供一种激光折射镜罩子100，所述激光折射镜罩子100包括底板110、环形侧板120、激光进口140、激光出口150及压缩气进口160。其中，所述环形侧板120位于所述底板110上，且所述环形侧板120与所述底板110形成容纳腔130；所述激光进口140位于所述环形侧板120上；所述激光出口150位于所述环形侧板120上，且所述激光进口140、所述容纳腔130与所述激光出口150相连通；所述压缩气进口160位于所述环形侧板120上，且所述压缩气进口160与所述容纳腔130相连通。所述激光进口140、所述激光出口150与所述压缩气进口160的位置对应设置，所述激光进口140与所述激光出口150的位置可根据所述容纳腔130中的折射镜(未图示)的位置进行设置，以使得激光自所述激光进口140进入所述容纳腔130，在所述容纳腔130中激光经过折射镜的作用后，自所述激光出口150射出所述容纳腔130。所述压缩气进口160的位置可根据所述激光进口140与所述激光出口150的位置进行设置，优选远离所述激光进口140与所述激光出口150的位置，以避免自所述压缩气进口160进入所述容纳腔130中的压缩气对激光的传输产生影响。本技术的所述激光折射镜罩子100，通过所述环形侧板120与所述底板110形成容纳折射镜的所述容纳腔130，且在所述环形侧板120上设计所述激光进口140及激光出口150从而在确保激光进入及射出的前提下，实现所述激光折射镜罩子100与机器(未图示)的全面覆盖设计，提高折射镜的镜面洁净度，降低激光功率的衰减，延长光刷组件的使用寿命；进一步的，在所述环形侧板120上设计所述压缩气进口160，以通过所述压缩气进口160向所述容纳腔130持续的进行压缩气充气，以形成正压，可更好的避免污染物进入所述容纳腔130，以进一步的提高折射本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光折射镜罩子，其特征在于，所述激光折射镜罩子包括：/n底板；/n环形侧板，所述环形侧板位于所述底板上，且所述环形侧板与所述底板形成容纳腔；/n激光进口，所述激光进口位于所述环形侧板上；/n激光出口，所述激光出口位于所述环形侧板上，且所述激光进口、所述容纳腔与所述激光出口相连通；/n压缩气进口，所述压缩气进口位于所述环形侧板上，且所述压缩气进口与所述容纳腔相连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种激光折射镜罩子，其特征在于，所述激光折射镜罩子包括：
底板；
环形侧板，所述环形侧板位于所述底板上，且所述环形侧板与所述底板形成容纳腔；
激光进口，所述激光进口位于所述环形侧板上；
激光出口，所述激光出口位于所述环形侧板上，且所述激光进口、所述容纳腔与所述激光出口相连通；
压缩气进口，所述压缩气进口位于所述环形侧板上，且所述压缩气进口与所述容纳腔相连通。


2.根据权利要求1所述的激光折射镜罩子，其特征在于：所述环形侧板的边缘包围所述底板的边缘。


3.根据权利要求1所述的激光折射镜罩子，其特征在于：所述底板与所述环形侧板的连接方式包括一体连接、焊接、螺纹连接、销连接及卡扣连接中的一种。


4.根据权利要求1所述的激光折射镜罩子，其特征在于：所述压缩气进口与气体压缩机相连接，且所述压缩气进口与所述气体压缩机之间连接有控制阀。


5.根据权利要求4所述的激光折射镜罩子，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈健清，成立炯，胡平，陈朔，郑宏，
申请(专利权)人：上海凸版光掩模有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31