【技术实现步骤摘要】
一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置
本技术涉及靶材绑定背管的金属化加工
,具体为一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置。
技术介绍
背管的表面质量直接影响后期成型在背管表面的靶材的质量,特别影响靶材与背管之间的粘结牢固度和焊合率,很多绑定靶材都出现了导电不好、散热不均和脱落现象,出现这些现象的原因,往往都是背管或背板与靶材之间的绑定层粘结附着不好,绑定层的两侧粘结情况影响靶材的导热导电,直接影响靶材的正常使用,因此,确保绑定质量是生产合格靶材的关键点之一。而靶材的品种繁多,规格多样,不同的靶材绑定时绑定层的附着情况不同,而现有的靶材绑定背管的金属化超声加工装置还存在一些缺陷,再装卡时操作麻烦,降低了工作效率,为此我们提供一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置来解决以上问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置,包括底板,其特征在于:所述底 ...
【技术保护点】
1.一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的上表面固定连接有相对称的固定板,两个所述固定板相互靠近的一侧面均竖向开设有滑槽,每个所述滑槽的内部放置有与滑槽相适配的滑块(4),每个所述滑槽的内底壁均固定连接电动推杆(5),每个所述电动推杆(5)的输出端均与滑块(4)的底面固定连接,两个所述滑块(4)之间连接有轨道(6),所述轨道(6)卡接有与轨道(6)相适配的卡块(7),且所述卡块(7)与轨道滑动连接,所述卡块的底面固定连接有超声波发生器(9);/n所述底板(1)的上表面固定连接有凹块(10),所述凹块两侧的底板(1)上表面固定连接有 ...
【技术特征摘要】
1.一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的上表面固定连接有相对称的固定板,两个所述固定板相互靠近的一侧面均竖向开设有滑槽,每个所述滑槽的内部放置有与滑槽相适配的滑块(4),每个所述滑槽的内底壁均固定连接电动推杆(5),每个所述电动推杆(5)的输出端均与滑块(4)的底面固定连接,两个所述滑块(4)之间连接有轨道(6),所述轨道(6)卡接有与轨道(6)相适配的卡块(7),且所述卡块(7)与轨道滑动连接,所述卡块的底面固定连接有超声波发生器(9);
所述底板(1)的上表面固定连接有凹块(10),所述凹块两侧的底板(1)上表面固定连接有相对称的支撑座(11),每个所述支撑座(11)的上表面均固定连接箍环(12),每个所述箍环(12)为对半开合的半圆环铰接而成,两个半圆环的开合处通过螺钉锁紧;所述凹块(10)设有用于放置背管的内凹弧面,所述背管(14)的左右两端均贯穿箍环(12)并延伸至两个固定板(2)相互靠近的一端。
2.根据权利要求1所述的一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置,其特征在于:所述底板(1)的下方放置有相对称的支撑腿,每个所述支撑腿的上表面与底板(1)的底面固定来接。
3.根据权利要求1所述的一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置,其特征在于:所述底板(1)的上方设有支撑板,每个所述固定板的顶端均与支撑...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱永伟,纪能健,闫志刚,王涛,
申请(专利权)人:扬州大学,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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