用于TEM切片结构分析的放置装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了用于TEM切片结构分析的放置装置，包括放置台，所述放置台上开设有观察槽，所述放置台底部设置有支撑块，所述支撑块内开设有安装腔，所述安装腔内侧壁开设有贯穿侧壁的贯穿口，所述贯穿口内转动连接有连接杆，所述连接杆一端固定连接有转动块，所述连接杆另一端固定连接有支撑机构，所述支撑块通过连接机构与放置台连接。本实用新型专利技术当进行样品失效性分析时，将样品切片放置在碳片，将碳片放置在观察槽内，经TEM观察样品与碳片是否平行，当出现角度偏差时，通过缓慢的转动位于支撑块上的转动块进行上下角度的调节，当调节好角度时，通过转动放置台侧壁实现对位于放置台上的样品转动，实现对样品进行多角度的观察。

Placement device for TEM slice structure analysis

【技术实现步骤摘要】
用于TEM切片结构分析的放置装置
本技术涉及样品分析装置
，尤其涉及用于TEM切片结构分析的放置装置。
技术介绍
透射电子显微镜(TEM)，可以看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2um的细微结构，这些结构称为亚显微结构或超微结构，是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影像，影像将在放大、聚焦后在成像器件(如荧光屏、胶片、以及感光耦合组件)上显示出。由于电子束的穿透力很弱，因此用于电子显微镜的标本须制成厚度约50nm左右的超薄切片，现有的放置装置是将样品切片放置在铜网中的碳片上，再将铜网放置在观察台上进行观察，由于电子显微镜观察的样品很薄，在将样品切片放到碳片上时会造成切片倾斜，这样经TEM观察的数据就不准确，会对观察者造成很大的分析误差，影响结论的准确性，现有的切片观察时不能转换贯穿角度，只能在同一角度进行转动观察，无法实现多角度转动观察。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有的样品放置台无法进行多角度的调整问题，而提出的用于TEM切片结构分析的放置装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：用于TEM切片结构分析的放置装置，包括放置台，所述放置台上开设有观察槽，所述观察槽内侧壁上固定连接有连接环，所述放置台底部设置有支撑块，所述支撑块内开设有安装腔，所述安装腔内侧壁开设有贯穿侧壁的贯穿口，所述贯穿口内转动连接有连接杆，所述连接杆一端固定连接有转动块，所述连接杆另一端固定连接有支撑机构，所述支撑块通过连接机构与放置台连接。优选地，所述支撑机构包括与连接杆端部固定连接的直齿轮，所述直齿轮两端啮合连接有两个直齿条，所述直齿条固定连接有支撑杆，所述支撑杆贯穿安装腔内侧壁并向外延伸。优选地，所述放置台上开设有呈T型的环状槽，位于安装腔外侧的所述支撑杆端部转动连接有连接柱，所述连接柱顶部固定连接有限制块，所述限制块位于环状槽内且与环状槽内侧壁滑动连接。优选地，所述连接机构包括开设在支撑块上表面的安装槽，所述安装槽内固定连接有万向球连接头，所述放置台底部固定连接有连接块，所述连接块固定连接有万向球，所述万向球与万向球连接头配合连接。优选地，所述放置台外侧壁固定连接有第一橡胶层，所述转动块外侧壁固定连接有第二橡胶层。优选地，所述安装腔底部开设有两个贯穿底部的贯穿口，所述支撑杆上开设有直槽，所述直槽内侧壁固定连接有固定轴，所述连接柱上开设有贯穿侧壁的连接孔，所述固定轴位于连接孔内。本技术中有益效果为：1、当样品失效性分析时，将样品切片放置在碳片，将碳片放置在观察槽内，经TEM观察样品与碳片是否平行，当出现角度偏差时，通过缓慢的转动位于支撑块上的转动块进行上下角度的调节。2、当调节好角度时，通过转动放置台侧壁实现对位于放置台上的样品转动，实现对样品进行多角度的观察。附图说明图1为本技术提出的用于TEM切片结构分析的放置装置的结构示意图；图2为本技术提出的用于TEM切片结构分析的放置装置主视图；图3为本技术提出的用于TEM切片结构分析的放置装置的仰视结构示意图。图中：1放置台、2观察槽、3支撑块、4安装腔、5连接杆、6转动块、71直齿轮、72直齿条、73支撑杆、74环状槽、75连接柱、76限制块、81万向球连接头、82万向球。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。参照图1-3，用于TEM切片结构分析的放置装置，包括放置台1，放置台1上开设有观察槽2，观察槽2内侧壁上固定连接有连接环，将观察样本放在碳片上，将碳片放置在连接环上进行观察，放置台1底部设置有支撑块3，支撑块3内开设有安装腔4，安装腔4内侧壁开设有贯穿侧壁的贯穿口，贯穿口内转动连接有连接杆5，贯穿口侧壁固定连接有第一轴承，第一轴承内侧壁与连接杆5固定连接，连接杆5一端固定连接有转动块6，通过转动块6进行转动使直齿轮71转动，连接杆5另一端固定连接有支撑机构，支撑块3通过连接机构与放置台1连接。进一步地，支撑机构包括与连接杆5端部固定连接的直齿轮71，直齿轮71两端啮合连接有两个直齿条72，当直齿轮71转动时，两侧的两个直齿条72的运动方向相反，直齿条72固定连接有支撑杆73，支撑杆73贯穿安装腔4内侧壁并向外延伸，支撑杆73与支撑块3的贯穿孔的侧壁为滑动连接。进一步地，放置台1上开设有呈T型的环状槽74，位于安装腔4外侧的支撑杆73端部转动连接有连接柱75，通过转动连接连接柱75在支撑杆73向上提升时可以进行倾角的调节，连接柱75顶部固定连接有限制块76，限制块76位于环状槽74内且与环状槽74内侧壁滑动连接，即环状槽74与限制块76相对滑动。进一步地，连接机构包括开设在支撑块3上表面的安装槽，安装槽内固定连接有万向球连接头81，放置台1底部固定连接有连接块，连接块固定连接有万向球82，万向球82与万向球连接头81配合连接，万向球82与万向球连接头81为现有技术，在此不做赘述，其作用是实现放置台1的转动与角度调节。进一步地，放置台1外侧壁固定连接有第一橡胶层，转动块6外侧壁固定连接有第二橡胶层，通过设置橡胶层增大接触面的摩擦，方便使用者的操作。进一步地，安装腔4底部开设有两个贯穿底部的贯穿口，该贯穿口为直齿条72的移动通过位置，支撑杆73上开设有直槽，直槽内侧壁固定连接有固定轴，连接柱75上开设有贯穿侧壁的连接孔，固定轴位于连接孔内，通过转动连接实现放置台1角度的调节。本技术中，在进行样品失效性分析时，将样品切片放置在碳片上，将碳片放置在观察槽2内，经TEM观察样品与碳片是否平行，当出现角度偏差时，通过缓慢的转动位于支撑块3上的转动块6进行上下角度的调节，具体工作原理为：转动块6转动带动与之通过连接杆5连接的直齿轮71转动，直齿轮71转动带动与之啮合连接的直齿条72移动，一侧的直齿条72向下移动，另一侧的直齿条72向上移动，带动固定连接的支撑杆73移动，与支撑杆73通过连接柱75连接的放置台1会进行上下调节角度，通过时刻观察的ETM进行分析，当观察到样片面积最大时停止转动，这时样品处在与镜片平行，进行切面观察。当需要对样品切片进行的角度观察时，通过转动放置台1侧壁，使放置台1转动，位于放置台1上观察槽2内的样品切片会进行转动，通过时刻观察ETM实现本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于TEM切片结构分析的放置装置，包括放置台(1)，其特征在于，所述放置台(1)上开设有观察槽(2)，所述观察槽(2)内侧壁上固定连接有连接环，所述放置台(1)底部设置有支撑块(3)，所述支撑块(3)内开设有安装腔(4)，所述安装腔(4)内侧壁开设有贯穿侧壁的贯穿口，所述贯穿口内转动连接有连接杆(5)，所述连接杆(5)一端固定连接有转动块(6)，所述连接杆(5)另一端固定连接有支撑机构，所述支撑块(3)通过连接机构与放置台(1)连接。/n

【技术特征摘要】
1.用于TEM切片结构分析的放置装置，包括放置台(1)，其特征在于，所述放置台(1)上开设有观察槽(2)，所述观察槽(2)内侧壁上固定连接有连接环，所述放置台(1)底部设置有支撑块(3)，所述支撑块(3)内开设有安装腔(4)，所述安装腔(4)内侧壁开设有贯穿侧壁的贯穿口，所述贯穿口内转动连接有连接杆(5)，所述连接杆(5)一端固定连接有转动块(6)，所述连接杆(5)另一端固定连接有支撑机构，所述支撑块(3)通过连接机构与放置台(1)连接。


2.根据权利要求1所述的用于TEM切片结构分析的放置装置，其特征在于，所述支撑机构包括与连接杆(5)端部固定连接的直齿轮(71)，所述直齿轮(71)两端啮合连接有两个直齿条(72)，所述直齿条(72)固定连接有支撑杆(73)，所述支撑杆(73)贯穿安装腔(4)内侧壁并向外延伸。


3.根据权利要求2所述的用于TEM切片结构分析的放置装置，其特征在于，所述放置台(1)上开设有呈T型的环状槽(74)，位于安装腔(4)外侧的所述支撑杆(7...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕灼菲，苏耿贤，何永强，刘焱，王亮，
申请(专利权)人：苏州博飞克分析技术服务有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32