本实用新型专利技术涉及辉光放电质谱仪技术领域，具体为一种用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置，包括气体杂质过滤箱，所述气体杂质过滤箱的上表面分布设置有气水反冲过滤管、循环水冲过滤罐和电解过滤罐，所述气水反冲过滤管与循环水冲过滤罐固定连接，所述循环水冲过滤罐与电解过滤罐的侧面均固定连接有传输管，并通过传输管的两端进行相连；该用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置中，通过在箱体上设置有循环水冲过滤罐和传输管的连通结构，采用滤器外壳和清水槽的连通结构，以及出气管和阴阳极的传送电解结构，实现了惰性气体的两次过滤功能，达到了惰性气体中带有的元素杂质，能够通过液体和电解双过滤的效果。和电解双过滤的效果。和电解双过滤的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置
[0001]本技术涉及辉光放电质谱仪
，具体涉及一种用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置。
技术介绍
[0002]辉光放电质谱仪是利用辉光放电源作为离子源，对于高纯材料进行检测分析其元素含量的设备，通常检测固体物质，而在检测惰性气体时，有两种检测方法，一种是在辉光放电质谱仪内设置阴阳极的放电池，通入惰性气体时，施加电场，利用电压击穿惰性气体，将气体中的杂质进行电离，从而过滤气体；另一种是在辉光放电质谱仪内设置液体过滤惰性气体池，通过液体对气体中杂质进行溶解水洗，然后将附着的水分子再次进行脱离处理，从而达到气体过滤。
[0003]气体过滤是将惰性气体通入辉光放电质谱仪，通过检测出的杂质进行分析后，并采取相应手段进行杂质分离，从而达到气体过滤的效果，现有技术中公开的液体溶解并脱水的方式，存在结构复杂、过滤繁琐，以及更换和清洗液体池不便的问题；另一种对于阴阳极制造电场，利用电压击穿进行电离过程，存在杂质小于0.1
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0.2微米的微粒进行布朗运动时，静电吸附沉积不全面而导致过滤不完全的问题。
[0004]因此，针对现有问题，本申请提供了一种用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置，用于解决上述存在的静电电离气体杂质不完全，液体过滤结构繁琐和液体装置不易清洗更换的问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置，以解决上述
技术介绍
中提到的技术问题。
[0006]为了实现上述目的，本技术公开了一种用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置，包括气体杂质过滤箱，所述气体杂质过滤箱的上表面分布设置有气水反冲过滤管、循环水冲过滤罐和电解过滤罐，所述气水反冲过滤管与循环水冲过滤罐固定连接，所述循环水冲过滤罐与电解过滤罐的侧面均固定连接有传输管，并通过传输管的两端进行相连，所述气水反冲过滤管底部的两端分别与所述循环水冲过滤罐和电解过滤罐的底部在所述气体杂质过滤箱的同一平面上；所述气水反冲过滤管的结构包括有气液输送管，所述气液输送管侧面的中部固定连接有泵液管，所述气液输送管底端的侧面固定连接有输气管，所述输气管侧面的中部设置有进气阀
[0007]可选地，所述气体杂质过滤箱的结构包括有箱体和活塞，所述箱体靠近背面底部的内部开设有机箱，所述箱体靠近正面顶部的内部开设有清水槽，所述机箱内部的一端到另一端，依次设置有电机、循环液压泵和冲水管，所述机箱与电机固定连接，所述电机的侧面分别与气液输送管和冲水管固定连接；所述循环水冲过滤罐的结构包括有滤器外壳，所述滤器外壳的内部设置有滤芯，所述滤器外壳侧面的底端固定连接有出液管，且所述出液
管的另一端通入到清水槽内部。
[0008]可选地，所述传输管的结构包括有出气管，所述出气管侧面的中部设置有压力表；所述电解过滤罐的结构包括有静电吸附壳体，所述静电吸附壳体的内部设置有阴阳极，位于所述阴阳极的侧面且位于所述静电吸附壳体的侧面设置有电线，所述静电吸附壳体上表面的中部设置有排气管，所述排气管侧面的中部设置有放气阀，所述静电吸附壳体靠近底端的侧面设置有壳门。
[0009]可选地，所述静电吸附壳体的形状与所述气液输送管的形状相同，但是尺寸有异，所述气液输送管用于初步的液体过滤气体；而所述静电吸附壳体用于电解击穿气体中的微小颗粒进行二次过滤气体；所述出液管内、外壁的直径分别与所述出气管内、外壁的直径相等，所述出液管用于排放过滤气体溶有杂质的液体，而所述出气管用于排放被液体过滤后的气体。
[0010]可选地，所述气液输送管内、外壁的直径分别与所述泵液管内、外壁的直径相同，所述滤芯的直径比所述滤器外壳内壁的直径大，且所述滤芯的直径比所述滤器外壳外壁的直径小，用于卡在所述滤器外壳的内部，对反复冲洗气体的液体进行过滤跟分离。
[0011]可选地，所述排气管和进气阀的形状相同，作用相同，但尺寸不同，用于调节并控制通入气体和释放气体的压力。
[0012]可选地，所述阴阳极的直径比所述静电吸附壳体内壁的直径大，且所述阴阳极的直径比所述静电吸附壳体外壁的直径小，用于在静电吸附壳体的内部创造电场空间，将出气管传出的气体进行电离，将混在气体中的杂质电离附带离子，经过静电吸附壳体底部的静电吸附。
[0013]与现有技术相比，本技术具有以下优点：
[0014]该用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置中，通过在箱体上设置有循环水冲过滤罐和传输管的连通结构，采用滤器外壳和清水槽的连通结构，以及出气管和阴阳极的传送电解结构，实现了惰性气体的两次过滤功能，达到了惰性气体中带有的元素杂质，能够通过液体和电解双过滤操作，确保了完全过滤的效果。
附图说明
[0015]图1为本技术的用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置正面结构示意图。
[0016]图2为本技术的用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置侧面结构示意图。
[0017]图3为本技术的用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置背面纵切剖视图。
[0018]图4为本技术的用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置正面纵切剖视图。
[0019]图5为本技术的用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置侧面纵切剖视图。
[0020]附图标记为：1、气体杂质过滤箱；101、箱体；102、活塞；103、机箱；104、电机；105、循环液压泵；106、冲水管；107、清水槽；2、气水反冲过滤管；201、气液输送管；202、泵液管；203、输气管；204、进气阀；3、循环水冲过滤罐；301、滤器外壳；302、滤芯；303、出液管；4、传输管；401、出气管；402、压力表；5、电解过滤罐；501、静电吸附壳体；502、阴阳极；503、电线；504、排气管；505、放气阀；506、壳门。
具体实施方式
[0021]下面通过具体实施例进行详细阐述，说明本技术的技术方案。
[0022]参照图1
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5所示，本技术公开了一种用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置结构，包括气体杂质过滤箱1，气体杂质过滤箱1的上表面分布设置有气水反冲过滤管2、循环水冲过滤罐3和电解过滤罐5，气水反冲过滤管2与循环水冲过滤罐3固定连接，循环水冲过滤罐3与电解过滤罐5的侧面均固定连接有传输管4，并通过传输管4的两端进行相连，气水反冲过滤管2底部的两端分别与循环水冲过滤罐3和电解过滤罐5的底部在气体杂质过滤箱1的同一平面上；气水反冲过滤管2的结构包括有气液输送管201，气液输送管201侧面的中部固定连接有泵液管202，气液输送管201底端的侧面固定连接有输气管203，输气管203侧面的中部设置有进气阀204
[0023]在一个优选的实施例中，气体杂质过滤箱1的结构包括有箱体101和活塞102，箱体101靠近背面底部的内部开设有机箱103，箱体101靠近正面顶部的内部开设有清水槽107，机箱103内部的一端到另一端，依次设置有电机104、循环液压泵105和冲水管106，机箱103与电机104固本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置，其特征在于：包括气体杂质过滤箱(1)，所述气体杂质过滤箱(1)的上表面分布设置有气水反冲过滤管(2)、循环水冲过滤罐(3)和电解过滤罐(5)，所述气水反冲过滤管(2)与循环水冲过滤罐(3)固定连接，所述循环水冲过滤罐(3)与电解过滤罐(5)的侧面均固定连接有传输管(4)，并通过传输管(4)的两端进行相连，所述气水反冲过滤管(2)底部的两端分别与所述循环水冲过滤罐(3)和电解过滤罐(5)的底部在所述气体杂质过滤箱(1)的同一平面上；所述气水反冲过滤管(2)的结构包括有气液输送管(201)，所述气液输送管(201)侧面的中部固定连接有泵液管(202)，所述气液输送管(201)底端的侧面固定连接有输气管(203)，所述输气管(203)侧面的中部设置有进气阀(204)。2.根据权利要求1所述的一种用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置，其特征在于：所述气体杂质过滤箱(1)的结构包括有箱体(101)和活塞(102)，所述箱体(101)靠近背面底部的内部开设有机箱(103)，所述箱体(101)靠近正面顶部的内部开设有清水槽(107)，所述机箱(103)内部的一端到另一端，依次设置有电机(104)、循环液压泵(105)和冲水管(106)，所述机箱(103)与电机(104)固定连接，所述电机(104)的侧面分别与气液输送管(201)和冲水管(106)固定连接；所述循环水冲过滤罐(3)的结构包括有滤器外壳(301)，所述滤器外壳(301)的内部设置有滤芯(302)，所述滤器外壳(301)侧面的底端固定连接有出液管(303)，且所述出液管(303)的另一端通入到清水槽(107)内部。3.根据权利要求2所述的一种用于辉光放电质谱仪...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘焱，何永强，苏耿贤，李利霞，
申请(专利权)人：苏州博飞克分析技术服务有限公司，
类型：新型
国别省市：
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