高精度激光功率取样测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种高精度激光功率取样测量装置，本高精度激光功率取样测量装置包括：功率探测器，沿激光光路依次设置的第一波片、取样反射镜、第二波片；其中激光器发射激光通过所述第一波片后，所述取样反射镜适于反射一部分激光至功率探测器，且所述功率探测器适于测量该部分激光的激光功率，另一部分激光穿过所述取样反射镜并通过第二波片输出至加工设备；本实用新型专利技术能够通过取样反射镜反射一部分激光到功率探测器，并通过对该部分激光的激光功率测量可以得到激光光路中入射激光的激光功率，大部分激光能够在不停机情况下输出至加工设备，实现了实时在线进行激光功率测量的功能。

High precision laser power sampling and measuring device

【技术实现步骤摘要】
高精度激光功率取样测量装置
本技术涉及一种激光功率检测领域，尤其涉及一种高精度激光功率取样测量装置。
技术介绍
在激光器或激光加工系统中激光的功率大小是一个非常重要的技术参数，此参数稳定与否直接影响系统的加工性能，另外激光器长期使用后激光功率是否衰减也是需要迫切掌握的信息。通常的方法是采用激光功率计进行测量，这种方面由以下几个缺点：需要配置专门激光功率测量仪器，成本较高，尤其是激光功率较高时需要配置高功率激光功率计；激光的光斑大小不同或者是打到功率计靶面上不同作用位置，激光功率计测量结果会有区别，因此这种方法测量一致性较差；测量激光功率时，由于主光路激光都进入了激光功率计，系统就无法进行加工。因此，亟需开发一种新的高精度激光功率取样测量装置，以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种高精度激光功率取样测量装置，以解决如何在不停机情况下测量激光功率的问题。为了解决上述技术问题，本技术提供了一种高精度激光功率取样测量装置，其包括：功率探测器，沿激光光路依次设置的第一波片、取样反射镜、第二波片；其中激光器发射激光通过所述第一波片后，所述取样反射镜适于反射一部分激光至功率探测器，且所述功率探测器适于测量该部分激光的激光功率，另一部分激光穿过所述取样反射镜并通过第二波片输出至加工设备。进一步，所述取样反射镜的沿激光光路的入射端的一面不镀膜，剩余一面镀激光增透膜。进一步，通过调节所述第一波片的角度，从而调节激光的偏振方向，以控制取样反射镜反射到功率探测器上的激光占原激光的激光功率比例。进一步，所述激光功率比例适于采取0.6%-8%。进一步，通过调节所述第二波片的角度，使出射激光和原入射激光的偏振方向相同。进一步，所述高精度激光功率取样测量装置还包括：检偏器；所述检偏器适于检测出射激光的偏振方向。本技术的有益效果是，本技术能够通过取样反射镜反射一部分激光到功率探测器，并通过对该部分激光的激光功率测量可以得到激光光路中入射激光的激光功率，大部分激光能够在不停机情况下输出至加工设备，实现了实时在线进行激光功率测量的功能。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术的高精度激光功率取样测量装置的结构框图；图2是本技术的高精度激光功率取样测量装置的剖视图；图3是本技术的高精度激光功率取样测量装置的结构图；图4是本技术的取样反射镜的不镀膜面的反射率图。图中：功率探测器1、第一波片2、取样反射镜3、第二波片4、激光光路入射位置5、激光光路出射位置6、框架7。具体实施方式现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。实施例1图1是本技术的高精度激光功率取样测量装置的结构框图；图2是本技术的高精度激光功率取样测量装置的剖视图；图3是本技术的高精度激光功率取样测量装置的结构图。在本实施例中，如图1、图2、图3所示，本实施例提供了一种高精度激光功率取样测量装置，其包括：功率探测器1，沿激光光路依次设置的第一波片2、取样反射镜3、第二波片4；其中激光器发射激光通过所述第一波片2后，所述取样反射镜3适于反射一部分激光至功率探测器1，且所述功率探测器1适于测量该部分激光的激光功率，另一部分激光穿过所述取样反射镜3并通过第二波片4输出至加工设备，能够实现从主激光光路里采集一定比例的微弱激光，通过探测微弱激光的激光功率从而得到主光路的激光功率。在本实施例中，功率探测器1可以采用但不限于是LPE-1A功率探测器。在本实施例中，第一波片2、第二波片4采用二分之一波片。在本实施例中，本实施例能够通过取样反射镜3反射一部分激光到功率探测器1，并通过对该部分激光的激光功率测量可以得到激光光路中入射激光的激光功率，大部分激光能够在不停机情况下输出至加工设备，实现了实时在线进行激光功率测量的功能。在本实施例中，激光光路沿激光光路入射位置5射入第一波片2，通过第二波片4后从激光光路出射位置6射出，且功率探测器1、第一波片2、取样反射镜3、第二波片4均设置在框架7上。图4是本技术的取样反射镜3的不镀膜面的反射率图。为了能够对激光进行反射取样，如图4所示，所述取样反射镜3的沿激光光路的入射端的一面不镀膜，剩余一面镀激光增透膜。在本实施例中，激光增透膜适于根据激光工作波长选用相应增透膜。在本实施例中，如图4所示，图中a线表示p光反射率、b线表示s光反射率、c线表示无偏振光反射率。为了调节激光功率比例，通过调节所述第一波片2的角度，从而调节激光的偏振方向，以控制取样反射镜3反射到功率探测器1上的激光占原激光的激光功率比例。在本实施例中，先不安装本高精度激光功率取样测量装置，用功率探测器1测量激光光路的主激光功率，测量结果为P0；加上本高精度激光功率取样测量装置后，在激光光路的出射位置用功率探测器1测量激光功率，测量结果为P1；调节第一波片2的角度，使得P1等于96%乘P0（根据需要，也可以调节到其他需要的比例）；功率探测器1的测量结果为P2；在P2的结果之上乘以一个系数x，就是要测的主激光功率P；x等于1减96%，即P等于P2除以x。具体的，所述激光功率比例适于采取0.6%-8%，优选为4%。为了保证出射激光的输出功率，通过调节所述第二波片4的角度，使出射激光和原入射激光的偏振方向相同。具体的，作为一种可选实施方式，所述高精度激光功率取样测量装置还包括：检偏器；所述检偏器适于检测出射激光的偏振方向。综上所述，本技术能够通过取样反射镜反射一部分激光到功率探测器，并通过对该部分激光的激光功率测量可以得到激光光路中入射激光的激光功率，大部分激光能够在不停机情况下输出至加工设备，实现了实时在线进行激光功率测量的功能。以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度激光功率取样测量装置，其特征在于，包括：/n功率探测器，沿激光光路依次设置的第一波片、取样反射镜、第二波片；其中/n激光器发射激光通过所述第一波片后，所述取样反射镜适于反射一部分激光至功率探测器，且所述功率探测器适于测量该部分激光的激光功率，另一部分激光穿过所述取样反射镜并通过第二波片输出至加工设备。/n

【技术特征摘要】
1.一种高精度激光功率取样测量装置，其特征在于，包括：
功率探测器，沿激光光路依次设置的第一波片、取样反射镜、第二波片；其中
激光器发射激光通过所述第一波片后，所述取样反射镜适于反射一部分激光至功率探测器，且所述功率探测器适于测量该部分激光的激光功率，另一部分激光穿过所述取样反射镜并通过第二波片输出至加工设备。


2.如权利要求1所述的高精度激光功率取样测量装置，其特征在于，
所述取样反射镜的沿激光光路的入射端的一面不镀膜，剩余一面镀激光增透膜。


3.如权利要求1所述的高精度激光功率取样测量装置，其特征在于，
通过调...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛岗，毛柘，
申请(专利权)人：江苏锐通激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32