【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射真空泵保养测试装置
本技术涉及真空泵检测领域，尤其涉及一种磁控溅射真空泵保养测试装置。
技术介绍
在真空磁控溅射设备中使用两种真空泵来获取真空环境，该真空泵在使用一定周期后需要进行保养维护。在保养维护后，技术人员不能确定是否完全保养正常，需要进行检测。因不能确定真空泵是否达标，若安装到生产线上不能使用需要重新拆下来保养，影响生产线整体生产效率和计划。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的问题，本技术提供了一种磁控溅射真空泵保养测试装置，其检测准确，能准确反映真空泵保养后的状态且检测用时短，所述技术方案如下：本技术提供一种磁控溅射真空泵保养测试装置，其包括待检测的真空泵、与所述真空泵连通的真空室、与所述真空室连接的真空计量器、与所述真空计量器连接的信号采集板、与所述信号采集板连接的控制器以及与所述控制器连接的显示屏，所述真空计量器用于计量所述真空泵的真空度，所述信号采集板用于采集所述真空计量器的模拟量；所述真空泵与所述真空室之间的管路上设置有至少一个第一阀门，所述真空室与所述真空计量器之间...
【技术保护点】
1.一种磁控溅射真空泵保养测试装置，其特征在于，包括待检测的真空泵(1)、与所述真空泵(1)连通的真空室(2)、与所述真空室(2)连接的真空计量器(3)、与所述真空计量器(3)连接的信号采集板(12)、与所述信号采集板(12)连接的控制器(4)以及与所述控制器(4)连接的显示屏(5)，所述真空计量器(3)用于计量所述真空泵(1)的真空度，所述信号采集板(12)用于采集所述真空计量器(3)的模拟量；所述真空泵(1)与所述真空室(2)之间的管路上设置有至少一个第一阀门(6)，所述真空室(2)与所述真空计量器(3)之间的管路上设置有第二阀门(7)，所述真空室(2)的排气口处设置有放气阀(8)。/n
【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射真空泵保养测试装置，其特征在于，包括待检测的真空泵(1)、与所述真空泵(1)连通的真空室(2)、与所述真空室(2)连接的真空计量器(3)、与所述真空计量器(3)连接的信号采集板(12)、与所述信号采集板(12)连接的控制器(4)以及与所述控制器(4)连接的显示屏(5)，所述真空计量器(3)用于计量所述真空泵(1)的真空度，所述信号采集板(12)用于采集所述真空计量器(3)的模拟量；所述真空泵(1)与所述真空室(2)之间的管路上设置有至少一个第一阀门(6)，所述真空室(2)与所述真空计量器(3)之间的管路上设置有第二阀门(7)，所述真空室(2)的排气口处设置有放气阀(8)。
2.根据权利要求1所述的磁控溅射真空泵保养测试装置，其特征在于，所述真空泵(1)为旋片真空泵，所述第一阀门(6)和第二阀门(7)均为电动蝶阀。
3.根据权利要求2所述的磁控溅射真空泵保养测试装置，其特征在于，所述测试装置还包括用于计时的计时器，所述计时器与控制器(4)电连接。
4.根据权利要求1所述的磁控溅射真空泵保养测试装置，其特征在于，所述测试装置还包括工作台，所述真空室(2)设置在工作台上。
5.根据权利要求1所述的磁控溅射真空泵保养测试装置，其特征在于，所述测试装置还包括启动按钮和停止按钮，所述启动按钮和停止按钮均与控制器(4)连接。
6.根据权利要求1所述的磁控溅射真空泵...
【专利技术属性】
技术研发人员：张青涛，饶杰奎，解孝辉，俞亚军，
申请(专利权)人：吴江南玻华东工程玻璃有限公司，中国南玻集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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