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本实用新型公开一种磁控溅射真空泵保养测试装置，其包括待检测的真空泵、与真空泵连通的真空室、与真空室连接的真空计量器、与真空计量器连接的信号采集板、与信号采集板连接的控制器及与控制器连接的显示屏，所述真空计量器用于计量所述真空泵的真空度，所述...该专利属于吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司授权不得商用。