【技术实现步骤摘要】
一种加热旋转平台装置及其使用方法
本专利技术属于半导体制程中喷胶领域，具体地说是一种加热旋转平台装置及其使用方法。
技术介绍
传统的喷胶机设备，其单元内基本上是由电机皮带轮带动加热盘体旋转；因皮带在长时间运转下会有松动的情况，需要人工定期进行校准相位角。另外，由电机皮带轮带动加热旋转盘体的结构，需要使用导电滑环对盘体的加热丝和电气件连接，由于喷胶机的本身工艺原因，喷胶单元内的粉尘颗粒较多，通常会导致导电滑环损坏而不通电。
技术实现思路
为了解决因现有皮带轮电机应用限制而导致的上述问题，本专利技术的目的在于提供一种加热旋转平台装置及其使用方法。该加热旋转平台装置解决了现有技术需要定期人工校准的麻烦，且取缔了易坏导电滑环的使用。方便了人工操作且提供了工作效率。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：本专利技术的加热旋转平台装置包括单元平台、加热盘、连接法兰、中空旋转电机、固定架及中空旋转平台，其中固定架固接于单元平台上，所述中空旋转电机安装在固定架上，中空旋转平台可相对转动地设置在固定架上...
【技术保护点】
1.一种加热旋转平台装置，其特征在于：包括单元平台(1)、加热盘(2)、连接法兰(3)、中空旋转电机(4)、固定架(5)及中空旋转平台(6)，其中固定架(5)固接于单元平台(1)上，所述中空旋转电机(4)安装在固定架(5)上，中空旋转平台(6)可相对转动地设置在固定架(5)上，并由所述中空旋转电机(4)驱动旋转；所述连接法兰(3)的一端与中空旋转平台(6)相连，另一端由所述单元平台(1)穿过、并连接有加热盘(2)，该加热盘(2)上的加热丝电线(7)及真空管(8)由所述连接法兰(3)内部、中空旋转平台(6)穿过。/n
【技术特征摘要】
1.一种加热旋转平台装置，其特征在于：包括单元平台(1)、加热盘(2)、连接法兰(3)、中空旋转电机(4)、固定架(5)及中空旋转平台(6)，其中固定架(5)固接于单元平台(1)上，所述中空旋转电机(4)安装在固定架(5)上，中空旋转平台(6)可相对转动地设置在固定架(5)上，并由所述中空旋转电机(4)驱动旋转；所述连接法兰(3)的一端与中空旋转平台(6)相连，另一端由所述单元平台(1)穿过、并连接有加热盘(2)，该加热盘(2)上的加热丝电线(7)及真空管(8)由所述连接法兰(3)内部、中空旋转平台(6)穿过。
2.根据权利要求1所述的加热旋转平台装置，其特征在于：所述连接法兰(3)为中空结构，两端分别与中空旋转平台(6)及加热盘(2)的底面固接。
3.根据权利要求1所述的加热旋转平台装置，其特征在于：所述单元平台(1)上开设有通孔，所述连接法兰(3)由该通孔穿过，所述通孔直径大于或等于连接法兰(3)的外径。
4.根据权利要求1所述的加热旋转平台装置，其特征在于：所述加热丝电线(7)的一端与加热盘(2)相连，另一端依...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋双，程虎，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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