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本发明属于半导体制程中喷胶领域，具体地说是一种加热旋转平台装置及其使用方法，装置包括单元平台、加热盘、连接法兰、中空旋转电机、固定架及中空旋转平台，固定架固接于单元平台上，中空旋转电机安装在固定架上，中空旋转平台可相对转动地设置在固定架上，...
该专利属于沈阳芯源微电子设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备股份有限公司授权不得商用。

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