化学品传感器及其形成方法技术

各种实施例涉及一种化学品传感器。化学品传感器可包括基板，基板包括第一密封(或隔离)腔以及与第一密封(或隔离)腔分开的第二密封(或隔离)腔。化学品传感器也可包括在第一密封(或隔离)腔中的发射器，发射器配置为发射红外光。化学品传感器还可包括在第二密封(或隔离)腔中的检测器。化学品传感器也可包括波导，波导配置为将红外光从发射器输送到检测器。波导可包括传感部分，传感部分配置为使通过传感部分输送的红外光的特性响应于与传感部分接触的化学实体而改变。检测器可配置为检测(红外光的)特性上的改变。

Chemical sensor and its formation method

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】化学品传感器及其形成方法相关申请的交叉引用本申请要求2017年10月12日提交的新加坡申请No.10201708437Y的优先权，其内容通过全文引用结合于此。
本公开的各个方面涉及一种化学品传感器。本公开的各个方面涉及一种形成化学品传感器的方法。
技术介绍
气体传感技术已经发展了几十年，采用了各种方法，使挥发性气体的传感具有较高的灵敏度和选择性。一种方法是基于使用光学系统精确测量气体的光谱指纹，例如，太赫兹(THz)时域光谱法。然而，由于所需的系统庞大而复杂，这种方法的应用可能有限。事实上，在过去的几十年里，由于其在室内空气质量(IAQ)监测等领域的广泛应用，以及在食品储存、农业、医疗诊断和工业废物等领域的应用，对开发低成本解决方案、小型和可靠的气体传感器的需求不断增加。另一方面，目前大多数小型化和低成本的商用气体传感器都是基于金属氧化物半导体(例如，氧化锌(ZnO)等)，在多气体传感中受到一些固有的限制，包括灵敏度漂移、寿命短和交叉响应。事实上，一种更强大的解决方案-基于吸收光谱的非色散红外(NDIR)气体传感器，表现本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学品传感器，包括：/n基板，所述基板包括第一密封腔以及与所述第一密封腔分开的第二密封腔；/n发射器，所述发射器位于所述第一密封腔中，所述发射器配置为发射红外光；/n检测器，所述检测器位于所述第二密封腔中；以及/n波导，所述波导配置为将所述红外光从所述发射器输送到所述检测器；/n其中，所述波导包括传感部分，所述传感部分配置为使通过所述传感部分输送的所述红外光的特性响应于与所述传感部分接触的化学实体而改变；并且/n其中，所述检测器配置为检测所述特性上的改变。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171012 SG 10201708437Y1.一种化学品传感器，包括：
基板，所述基板包括第一密封腔以及与所述第一密封腔分开的第二密封腔；
发射器，所述发射器位于所述第一密封腔中，所述发射器配置为发射红外光；
检测器，所述检测器位于所述第二密封腔中；以及
波导，所述波导配置为将所述红外光从所述发射器输送到所述检测器；
其中，所述波导包括传感部分，所述传感部分配置为使通过所述传感部分输送的所述红外光的特性响应于与所述传感部分接触的化学实体而改变；并且
其中，所述检测器配置为检测所述特性上的改变。


2.如权利要求1所述的化学品传感器，
其中，所述第一密封腔是真空密封腔；并且
其中，所述第二密封腔是进一步的真空密封腔。


3.如权利要求1所述的化学品传感器，
其中，所述传感部分暴露以允许化学品与所述传感部分接触。


4.如权利要求3所述的化学品传感器，所述化学品传感器还包括：
覆层，所述覆层覆盖所述波导的剩余部分。


5.如权利要求1所述的化学品传感器，还包括：
第一光栅耦合器，所述第一光栅耦合器配置为将红外光从所述发射器耦合到所述波导；以及
第二光栅耦合器，所述第二光栅耦合器配置为将红外光从所述波导耦合到所述检测器。


6.如权利要求5所述的化学品传感器，还包括：
第一反射器，所述第一反射器配置为将红外光从所述第一光栅耦合器定向到所述波导；以及
第二反射器，所述第二反射器配置为将红外光从所述波导定向到所述第二光栅耦合器。


7.如权利要求1所述的化学品传感器，
其中，所述发射器悬挂在所述第一密封腔中；并且
其中，所述检测器悬挂在所述第二密封腔中。


8.如权利要求1所述的化学品传感器，
其中，所述基板包括第一晶片以及连接到所述第一晶片的第二晶片以形成所述第一密封腔和所述第二密封腔。


9.如权利要求8所述的化学品传感器，
其中，所述第二晶片...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡虹，陶继方，李耀庭，古元冬，
申请(专利权)人：新加坡科技研究局，
类型：发明
国别省市：新加坡;SG