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化学品传感器及其形成方法技术
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文档序号:24334945
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各种实施例涉及一种化学品传感器。化学品传感器可包括基板,基板包括第一密封(或隔离)腔以及与第一密封(或隔离)腔分开的第二密封(或隔离)腔。化学品传感器也可包括在第一密封(或隔离)腔中的发射器,发射器配置为发射红外光。化学品传感器还可包括在第...
该专利属于新加坡科技研究局所有,仅供学习研究参考,未经过新加坡科技研究局授权不得商用。
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