【技术实现步骤摘要】
一种硅片传输机构
本技术涉及硅片自动化设备领域，具体涉及一种硅片传输机构。
技术介绍
硅片在不同工位之间的传输需要借助传输机构辅助送料，再配合工位上设置的机械手实现硅片的抓取，从而将传输机构上的硅片放置在待加工工位的托盘上，以便于对硅片进行后续的加工处理。硅片传输机构主要包括对称设置的皮带轮副，两皮带轮副通过同步的运动将放置在其上的硅片输送至所需的工位。但是因为现有技术中取料时通常借助机械手取料，机械手在取料时其在一个行程运动的过程中仅能完成一硅片的取放，因而降低了硅片传输时的效率。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种硅片传输机构，其能够提高硅片传输的效率。为了解决上述技术问题，本技术提供了一种硅片传输机构，包括放置臂、过渡臂、行走机构和传输带，所述放置臂和所述过渡臂均用于放置硅片；所述行走机构包括行走臂和驱动所述行走臂的多轴模组，所述行走臂包括第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部分别位于所述行走臂的两端部；所述过渡臂、所述放置臂和所述传输带依次等距设置，且与...
【技术保护点】
1.一种硅片传输机构，其特征在于，包括放置臂、过渡臂、行走机构和传输带，所述放置臂和所述过渡臂均用于放置硅片；所述行走机构包括行走臂和驱动所述行走臂的多轴模组，所述行走臂包括第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部分别位于所述行走臂的两端部；所述过渡臂、所述放置臂和所述传输带依次等距设置，且与所述第一支撑部和所述第二支撑部间的距离相等；当所述第一支撑部插设进所述放置臂内时，所述第二支撑部插设进所述过渡臂内，以将所述放置臂和所述过渡臂上的所述硅片依次传输至所述过渡臂和所述传输带上。/n
【技术特征摘要】
1.一种硅片传输机构，其特征在于，包括放置臂、过渡臂、行走机构和传输带，所述放置臂和所述过渡臂均用于放置硅片；所述行走机构包括行走臂和驱动所述行走臂的多轴模组，所述行走臂包括第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部分别位于所述行走臂的两端部；所述过渡臂、所述放置臂和所述传输带依次等距设置，且与所述第一支撑部和所述第二支撑部间的距离相等；当所述第一支撑部插设进所述放置臂内时，所述第二支撑部插设进所述过渡臂内，以将所述放置臂和所述过渡臂上的所述硅片依次传输至所述过渡臂和所述传输带上。
2.如权利要求1所述的硅片传输机构，其特征在于，所述放置臂包括吸附腔和与所述吸附腔连通的气孔，所述气孔均位于所述放置臂的上表面，以吸附所述硅片。
3.如权利要求1所述的硅片传输机构，其特征在于，所述第一支撑部和所述第二支撑部上均连接有若干抽气接头，以吸附所述硅片。
4.如权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：张学强，戴军，张建伟，罗银兵，刘三利，祝志强，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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