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本实用新型公开了一种硅片传输机构，包括放置臂、过渡臂、行走机构和传输带，所述放置臂和所述过渡臂均用于放置硅片；所述行走机构包括行走臂和驱动所述行走臂的多轴模组，所述行走臂包括第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部分别位于所述...
该专利属于罗博特科智能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗博特科智能科技股份有限公司授权不得商用。

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