一种可在线观测的真空检漏仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可在线观测的真空检漏仪，包括：机体、样品座部件、抽真空装置、检测机构和同轴光调节器；样品座部件设于所述机体顶部；抽真空装置设于所述机体内侧；检测机构设于机体顶部；同轴光调节器设于检测机构左侧，用于调节所述检测机构拍摄时光线的明亮度。本实用新型专利技术可在线观测样品杆/样品在真空中是否有泄漏、破损等缺陷，进行预抽真空，实现事先防止异常样品杆/样品进入电镜中，避免污染电镜环境。

A vacuum leak detector with on-line observation

【技术实现步骤摘要】
一种可在线观测的真空检漏仪
本技术属于透射电子显微镜真空配件领域，尤其涉及一种可在线观测的真空检漏仪。
技术介绍
透射电子显微镜作为一种显微观察设备，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，观察各种试样凹凸不平表面的细微结构的优点。其样品载体样品杆搭配原位检测芯片，可以使分辨率达到原子级。研究学者可以通过原位技术捕获样品对环境的动态感应，包括尺寸、形貌、晶体结构变化等重要信息。然而透射电子显微镜是使用时对样品杆要求极高，要求样品台和原位检测芯片具有很高的清洁度，无破损泄漏、无潮气、无粉尘等附着物。若检测存在污染、破损等，不仅影响透射电子显微镜的检测环境造成破坏，严重影响的寿命，还影响观察的效果。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可在线观测的真空检漏仪，其具有抽真空速度快，精准观测样品，能够配合透射电镜样品杆检测，减少样品杆对透射电子显微镜的污染，提高对观察精度等优点。为实现上述目的，本技术提供了一种可在线观测的真空检漏仪，该在线观测的真空检漏仪包括：机体，所述机体两侧设有散热孔，用于将机体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可在线观测的真空检漏仪，其特征在于，该在线观测的真空检漏仪包括：/n机体；/n样品座部件，设于所述机体顶部，用于盛放透射电子显微镜样品杆；/n抽真空装置；设于所述机体内侧，且与所述样品座部件连接，用于对所述样品座部件进行抽真空；/n检测机构，设于机体顶部，用于对样品座部件内侧的样品杆检测拍摄检测；及/n同轴光调节器，设于检测机构左侧，用于调节所述检测机构拍摄时光线的明亮度。/n

【技术特征摘要】
1.一种可在线观测的真空检漏仪，其特征在于，该在线观测的真空检漏仪包括：
机体；
样品座部件，设于所述机体顶部，用于盛放透射电子显微镜样品杆；
抽真空装置；设于所述机体内侧，且与所述样品座部件连接，用于对所述样品座部件进行抽真空；
检测机构，设于机体顶部，用于对样品座部件内侧的样品杆检测拍摄检测；及
同轴光调节器，设于检测机构左侧，用于调节所述检测机构拍摄时光线的明亮度。


2.根据权利要求1所述的可在线观测的真空检漏仪，其特征在于：所述样品座部件包括插管和插杆座组件；所述插管与所插杆座组件固定连接。


3.根据权利要求2所述的可在线观测的真空检漏仪，其特征在于：所述插杆座组件包括插座、第一透光元件、第二透光元件、第一端头盖和第二端头盖；所述第一透光元件与所述插座之间通过第一端头盖固定连接，所述第二透光元件与所述插座之间通过第二端头盖固定连接。


4.根据权利要求3所述的可在线观测的真空检漏仪，其特征在于：所述第二透光元件的一面上设有磨砂面，用于增强底灯的漫反射。


5.根据权利要求1所述的可在线观测的真空检漏仪，其特征在于：所述检测机构包括显...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖洪钢，
申请(专利权)人：厦门超新芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35